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电子半导体材料是现代制造的基础

电子半导体材料是现代制造的基础，是推动集成电路产业发展创新的关键，几乎贯穿整个集成电路制造过程。电子器件在实际服役过程中，由于设计原因或器件与环境相互作用，性能或结构发生变化，可能会出现性能下降或者破坏，需要对失效的原理、机理进行明确并制定相应的改善措施。

扫描电镜通常使用10KV~30KV加速电压工作，可获得图像；微区成分分析也能提供可靠的定性定量结果。然而对于某些热敏或者导电性能差的样品，如：半导体和器件、合成纤维、溅射或氧化薄膜、纸张、动植物组织、高分子材料等，有时不允许进行导电处理，而要求直接观察。即可选用低电压成像技术，选用1~5KV或更低的加速电压进行成像。

双面导电胶带的粒径有几微米量级以上

如果是硬粉末样品，可直接撒在样品台的双面导电胶带表面，再在粉末上面垫一张既光亮又不起毛的洁净纸，如可用双面导电碳胶带上白色的隔层纸盖上，再用表面比较平坦的物体，如镊子的大头部位在所垫的隔层纸上轻微压一下，之后再用洗耳球或吹气吹掉粘结不牢靠的颗粒，也可以在木质或塑料等较硬的桌子旁边敲击几下，以振掉粘结不牢靠的颗粒。如果颗粒的粒径有几微米量级以上，可以寻找粒径相对比较大、表面平整，又呈水平状态的颗粒进行分析。

化学组分含量分析应多分析几个颗粒

可以用镊子夹住导电胶带直接去黏附粉末，然后再用敲打、振动的办法或者用洗耳球从侧面对着所粘贴在导电胶带上的粉末朝外吹，把那些黏结不牢或团聚和重叠的粉末颗粒振掉或吹掉，再把粘牢的粉末连同导电胶带粘贴到样品台上。

也可以将粗颗粒粉末用环氧树脂镶嵌、混合、调匀，并让它固化后再进行研磨、抛光、清洗、镀膜，然后放入台式扫描电镜中进行观察、分析。若要做化学组分含量的定量分析应多分析几个颗粒，再把所得的定量结果平均计算，这样才能接近于样品的真实含量。

台式扫描电镜的一个突出优点

其实制样的关键就是让样品导电，因此对导电样品，不需要再做特殊处理，特别是对那些能导电的块状样品，在样品没有油污、水分等的情况下，一般可直接放入样品仓中观察和分析样品表面形貌及相关的物理和化学特征，这是台式扫描电镜的一个突出优点。对非导电样品，只要在样品上喷涂一层导电物质（通常为金或碳）即可进行观察，这比起光学显微镜和透射电镜制样要简单得多。

若将样品置于靶材下方，则被溅射的金属原子团就会降落到样品表面，形成一层金属膜，用该方法给样品表面镀膜，称为离子溅射镀膜法。