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发布时间:2022-04-14 06:24:00 作者:九鼎
反应溅射在溅射气体中加入少量的反应气体
反应溅射
在溅射气体中加入少量的反应气体如氮气,氧气,烷类等,使反应气体与靶材原子一起在衬底上沉积,对一些不易找到块材制成靶材的材料,或溅射过程中薄膜成分容易偏离靶材原成分的,都可利用此方法。
反应气体:O2,N2,NH3,CH4,H2S等
镀膜操作
将制好的样品台放在样品托内,置于离子溅射仪中,盖好顶盖,拧紧螺丝,打开电源抽真空。待真空稳定后,约为5 X10-1mmHg,按下"启动"按钮,通过调节针阀将电流调至6~8mA,开始镀金,镀金一分钟后自动停止,关闭电源,打开顶盖螺丝,放气,取出样品即可。
如果用标样来做有标样法的定量分析
如果用标样来做有标样法的定量分析,为了保证待测样品与标样膜厚度相同,标样和样品应放在一起同时蒸镀。如果所要分析的样品中含有碳,而又要进行碳的定量分析,则该样品采用环境扫描或低真空的电镜做分析。如果没有低真空的台式扫描电镜,而改镀金属膜,则超轻元素会受到明显衰减。如果样品表面镀有导电膜,在做定量分析时应把所镀膜层的元素峰排除在外,即应让所蒸镀的元素峰参与峰剥离,而不参与定量计算,以尽量减小外来因素的影响。
扫描电子显微镜的制造是基于电子和物质的相互作用
扫描电子显微镜基本的功能仍然是放大镜的功能,它实现了人眼和光学显微镜无法观察到的样品更详细的特征。 广泛应用于材料科学研究、生物学、工业制造等领域。
扫描电子显微镜的制造是基于电子和物质的相互作用。 当一束高能入射电子轰击材料表面时,激发区会产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子以及可见光、紫外光和红外光。 该区域产生的电磁辐射。 同时,还可以产生电子-空穴对、晶格振动(声子)和电子振荡(等离子体)。 原则上,可以利用电子与物质的相互作用来获得被测样品本身的各种物理化学性质,如形貌、成分、晶体结构、电子结构、内部电场或磁场等。
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