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真空镀膜法与离子溅射法相比

真空镀膜采用真空镀膜仪进行蒸镀，其原理是在高真空状态下，通过加热靶材，使之蒸发成极细小的颗粒（原子团）而挥发出来，然后通过自身的重力降落到样品的表面形成一层导电膜层，使样品表面导电。现在多数镀膜仪通常选用金、铂和金钯合金等，蒸镀金属膜的厚度约为5~10nm。同样的靶材用真空镀膜法与离子溅射法相比，真空镀膜法所形成的金属膜层的颗粒相对较粗，而且膜的均匀性较差，操作较麻烦，既费时又耗能、耗材，所以成本比较高。目前真空镀膜法已经很少使用，使用较多的是离子溅射法。

SEM是扫描电子显微镜的简称

SEM是扫描电子显微镜的简称。扫描电子显微镜是1965年发明的一种比较现代的细胞生物学研究工具，它主要利用二次电子信号成像来观察样品的表面形貌，即用很窄的电子束扫描样品，通过与样品之间的相互作用产生各种效应。 该作用产生各种影响，其中包括样品的二次电子发射。 二次电子可以产生样品表面的放大图像，该图像是在扫描样品时按时间顺序建立的，即逐点成像获得放大图像。用台式扫描电镜拍几千倍的图可根据样品信号强度选择光斑直径中或者细来拍照。

扫描电子显微镜(SEM)之所以如此强大

扫描电子显微镜（SEM）之所以如此强大，首先是他成像清晰，放大倍数超乎想象，可以达到几十万倍。它远远超出了光学显微镜的范围。 几乎它的出现，可以说是让研究进入了一个全新的境界。大景深。除成像外，还可以增加其他设备进行更细致的分析和多样化的功能。例如，SEM-EDS是一种扫描电子显微镜，配备有微量分析能谱仪，用于检测元素的总种类和含量。这里是普及一下景深的概念，在写的过程中也是理解的。简单的说，比如我们用手机拍照的时候对焦在一个物体上，可以清楚的看到这个点的内容，而且在这个点前后一定范围内，不严重模糊，可以清楚看到的范围称为景深。

扫描电子显微镜(scanningelectronmicros

扫描电子显微镜（scanning electron microscope，简称扫描电镜/SEM）的基本组成是透射系统、电子系统、电子收集系统和观察记录系统，以及相关的电子系统。现在公认的扫描电镜的概念是由德国的 Knoll在1935年提出来的，1938年Von Ardenne在投射电镜上加了个扫描线圈做出了扫描透射显微镜（SEM）。

由于扫描电镜可以利用多种物理信号对样品进行综合分析，并具有直接观察较大样品、放大范围广、景深大的特点，当陶瓷材料处于不同的外部条件和化学环境时，扫描电子显微镜在其微观结构分析和研究方面也显示出很大的优势。