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发布时间:2022-04-26 03:48:00 作者:九鼎
真空镀膜法与离子溅射法相比
真空镀膜采用真空镀膜仪进行蒸镀,其原理是在高真空状态下,通过加热靶材,使之蒸发成极细小的颗粒(原子团)而挥发出来,然后通过自身的重力降落到样品的表面形成一层导电膜层,使样品表面导电。现在多数镀膜仪通常选用金、铂和金钯合金等,蒸镀金属膜的厚度约为5~10nm。同样的靶材用真空镀膜法与离子溅射法相比,真空镀膜法所形成的金属膜层的颗粒相对较粗,而且膜的均匀性较差,操作较麻烦,既费时又耗能、耗材,所以成本比较高。目前真空镀膜法已经很少使用,使用较多的是离子溅射法。
小心地施加灯丝的加热电流
直热式的钨阴极发射通过对灯丝的直接加热,把电子从钨阴极材料中激发出来。若增加灯丝的加热电流,灯丝的温度就会随之上升,发射的束流也会随之加大。当灯丝的发射束流达到其高点时,即使再加大灯丝的加热电流,其发射的束流也很难再有明显增加,而只会增加灯丝的温度,从而加速灯丝的挥发,进而导致灯丝很快烧断。也就是说操作者应该小心地施加灯丝的加热电流,以获得既大又稳定的发射束流,而灯丝的温度又能恰到好处,不至于升得太高而造成过热,这个点就叫作饱和点。
热发射电子需要电磁透镜才能形成光束
热发射电子需要电磁透镜才能形成光束,因此电磁透镜对于使用热发射电子的SEM来说是的。通常组装两个组:
会聚透镜:顾名思义,会聚透镜使用会聚电子束,组装在真空柱中,位于电子下方。通常不止一个,并且有一组会聚光圈与之匹配。 但是,会聚透镜仅用于会聚电子束,与成像焦点无关。
物镜:物镜是真空柱底部的电磁透镜,负责将电子束的焦点会聚到样品表面。
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