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发布时间:2022-04-30 05:10:00 作者:九鼎
反应溅射在溅射气体中加入少量的反应气体
反应溅射
在溅射气体中加入少量的反应气体如氮气,氧气,烷类等,使反应气体与靶材原子一起在衬底上沉积,对一些不易找到块材制成靶材的材料,或溅射过程中薄膜成分容易偏离靶材原成分的,都可利用此方法。
反应气体:O2,N2,NH3,CH4,H2S等
镀膜操作
将制好的样品台放在样品托内,置于离子溅射仪中,盖好顶盖,拧紧螺丝,打开电源抽真空。待真空稳定后,约为5 X10-1mmHg,按下"启动"按钮,通过调节针阀将电流调至6~8mA,开始镀金,镀金一分钟后自动停止,关闭电源,打开顶盖螺丝,放气,取出样品即可。
如果用标样来做有标样法的定量分析
如果用标样来做有标样法的定量分析,为了保证待测样品与标样膜厚度相同,标样和样品应放在一起同时蒸镀。如果所要分析的样品中含有碳,而又要进行碳的定量分析,则该样品采用环境扫描或低真空的电镜做分析。如果没有低真空的台式扫描电镜,而改镀金属膜,则超轻元素会受到明显衰减。如果样品表面镀有导电膜,在做定量分析时应把所镀膜层的元素峰排除在外,即应让所蒸镀的元素峰参与峰剥离,而不参与定量计算,以尽量减小外来因素的影响。
电子显微镜用于聚焦电子
电子透镜用于聚焦电子,是电子显微镜镜筒中很重要的部分。 一般使用磁透镜,有时也使用静电透镜。它利用与镜筒轴对称的空间电场或磁场,使电子轨迹向轴弯曲,形成焦点。其作用与光学显微镜中的光学透镜(凸透镜)一样,使光束聚焦,故称为电子透镜。光学镜头的焦点是固定的,而电子镜头的焦点是可以调节的,因此电子显微镜没有光学显微镜那样的可移动镜头系统。大多数现代电子显微镜都使用电磁透镜,电子被非常稳定的直流激励电流通过带极靴的线圈产生的强磁场聚焦。电子源由释放自由电子的阴极、栅极和以环形加速电子的阳极组成。阴极和阳极之间的电压差需要很高,一般在几千伏到三百万伏之间。它能以均匀的速度发射并形成电子束,因此加速电压的稳定性不低于万分之一。
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