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扫描电子显微镜SEM分析

扫描电子显微镜具有景深大、分辨率高、成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。另外，扫描电镜具有可测样品种类丰富，几乎不损伤和污染原始样品以及可同时获得形貌、结构、成分和结晶学信息等优点。

扫描电子显微镜SEM分析原理：用电子技术检测高能电子束与样品作用时产生二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线等并放大成象。谱图的表示方法：背散射象、二次电子象、吸收电流象、元素的线分布和面分布等。

若需要用能谱或波谱仪来作成分分析的样品,蒸镀碳膜

若需要用能谱或波谱仪来作成分分析的样品，蒸镀碳膜。碳为超轻元素，碳膜对射线吸收小，而且增加的谱峰也仅有一个碳的K锋，对定量分析结果的影响也小。蒸碳时通常会用高真空的碳镀膜仪，需要注意的是蒸碳时对镀膜仪的真空度要求高，碳棒点燃时的温度也高，会有高温热辐射，对有机高分子和生物等不耐热的样品容易引起灼伤。所蒸的碳膜要均匀，膜厚控制在10~15 nm之间，对于凹凸起伏严重的样品，所镀的膜层应适当增加到15~20 nm。

扫描电子显微镜(SEM)之所以如此强大

扫描电子显微镜（SEM）之所以如此强大，首先是他成像清晰，放大倍数超乎想象，可以达到几十万倍。它远远超出了光学显微镜的范围。 几乎它的出现，可以说是让研究进入了一个全新的境界。大景深。除成像外，还可以增加其他设备进行更细致的分析和多样化的功能。例如，SEM-EDS是一种扫描电子显微镜，配备有微量分析能谱仪，用于检测元素的总种类和含量。这里是普及一下景深的概念，在写的过程中也是理解的。简单的说，比如我们用手机拍照的时候对焦在一个物体上，可以清楚的看到这个点的内容，而且在这个点前后一定范围内，不严重模糊，可以清楚看到的范围称为景深。

灯丝发射的热电子在2

灯丝发射的热电子在2-30KV的电压下加速，经两个聚光镜和一个物镜聚焦后，形成具有一定能量、强度和强度的入射电子束。光斑直径。在线圈产生的磁场作用下，入射电子束按一定的时间和空间顺序按光栅图案进行扫描。由于入射电子与样品的相互作用，从样品激发的二次电子被收集器收集，收集器可以收集向各个方向发射的二次电子。这些二次电子被加速射到闪烁体上，使二次电子信息转化为光信号，然后通过光管进入光电倍增管，使光信号转化为电信号。这个电信号经过视频放大器放大后输入到显像管的栅极来调制荧光屏的亮度，荧光屏上就会出现与样品对应的相同图像。当入射电子束在样品表面扫描时，二次电子发射量随样品表面的起伏（形貌）而变化。