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高分辨力扫描电子显微镜的工作经验

在目前微观形貌的分析研究中，随着半导体器件等高新技术的发展，往往要求对表面的细微结构能够更深入地观察和了解，因此发展高分辨力的电镜一直是生产厂商和用户们所追求的共同目标。要获得一张清晰、高分辨的照片，不仅要有一台性能***的高分辨力扫描电子显微镜，而且还取决于试样自身的特征和操作人员的工作经验，即要考虑以下几种因素：

（1）入射电子束的束流密度要足够大，而且稳定→电子源的发射问题。

（2）入射电子束的束斑是否足够细、足够旋转对称（圆），涉及电子透镜的设计、加工和装配水平，以及镜筒受污染的影响程度等→探针的形成问题。

扫描电镜带能谱是一种体积小巧,可安放在实验台面上操作的台式电

扫描电镜带能谱是一种体积小巧，可安放在实验台面上操作的台式电子显微镜。它的电子光学系统、探测器、电路控制系统、信号采集系统和操作软件均为自主研制。独立研发的电子光学系统设计，使拍摄图片具有更高的信噪比和对比度。配合很高的信号采集带宽，可以在视频帧率下高质量的流畅显示样品。只需鼠标就可完成所有操作，无需光阑对中等复杂步骤。主机集成高压及控制系统，是目前市面上体积较小的台式扫描电镜，便于移动，安装无需特殊环境。

台式扫描电子显微镜采用高集成度电子光学系统设计和附件集成方案

台式扫描电子显微镜采用高集成度电子光学系统设计和附件集成方案，使拍摄图片具有更高的信噪比和对比度，同时也具有更强的抗干扰能力。

　　配合很高的信号采集带宽，可以在视频帧率下高质量的流畅显示样品。只需鼠标就可完成所有操作，无需光阑对中等复杂步骤。主机集成高压及控制系统，是目前市面上体积较小的扫描电镜，便于移动，安装无需特殊环境。

　　该产品使得扫描电镜不仅仅是“便宜电镜”的代名词，而是从集成度、易操作性、稳定性、抗干扰能力等角度出发，打造好用的台式扫描电镜。