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在实际工作中以上这几个要点很难个个具备都能达到理想状态

在实际工作中以上这几个要点很难个个具备都能达到理想状态，但是作为一个的扫描电镜应用人员来说，应从多方面入手，综合考虑，如选好电镜的安装环境，尽自己的职责维护好设备和制备好试样，这都是操作人员应该做到的事。电镜参数的合理选择和熟练操作，是操作人员经过努力学习、不断积累经验而应能实现的目标。至于扫描电镜的型号和某些参数的优劣，这超出操作人员的能力范围，只要操作人员能发挥出现有电镜大的潜能，一般都能得到比较好的成像效果。当然，如果能有一台高亮度、高分辨的扫描电镜，那将会更理想。

扫描电子显微镜的功能

　　1、扫描电子显微镜追求固体物质高分辨的形貌，形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态，形状，尺寸)

　　2、显示化学成分的空间变化，基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布，微区化学成分分析

　　1)用x射线能谱仪或波谱(EDS or WDS)采集特征X射线信号，生成与样品形貌相对应的，元素面分布图或者进行化学成分定性定量分析，相鉴定。

　　2)利用背散射电子(BSE)基于平均原子序数(一般和相对密度相关)反差，生成化学成分相的分布图像；

　　3)利用阴极荧光，基于某些痕量元素(如过渡金属元素，稀土元素等)受电子束激发的光强反差，生成的痕量元素分布图像。

半导体器件(IC)研究中的特殊应用

在半导体器件(IC)研究中的特殊应用：

　　1)利用电子束感生电流EBIC进行成像，可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究

　　2)利用样品电流成像，结果可显示电路中金属层的开、短路，因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。

　　3)利用二次电子电位反差像，反映了样品表面的电位，从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况，特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。

　　4、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式)，晶体取向分布分析，基于晶体结构的相鉴定。