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在实际工作中以上这几个要点很难个个具备都能达到理想状态

在实际工作中以上这几个要点很难个个具备都能达到理想状态，但是作为一个的扫描电镜应用人员来说，应从多方面入手，综合考虑，如选好电镜的安装环境，尽自己的职责维护好设备和制备好试样，这都是操作人员应该做到的事。电镜参数的合理选择和熟练操作，是操作人员经过努力学习、不断积累经验而应能实现的目标。至于扫描电镜的型号和某些参数的优劣，这超出操作人员的能力范围，只要操作人员能发挥出现有电镜大的潜能，一般都能得到比较好的成像效果。当然，如果能有一台高亮度、高分辨的扫描电镜，那将会更理想。

从电子中发射出高能电子束撞击样品表面,与原子的内层电子发生

从电子中发射出高能电子束撞击样品表面，与原子的内层电子发生非弹性散射作用时，使原子发生电离，从而使原子失去一个内层电子而变成离子，并在该电子层对应位置产生一个空穴，原子为了恢复到稳定态，较外层的电子就会填补到这个空穴，在填补过程中同时会产生具有特征能量的X射线，探测器接收到这些特征X射线后，经过分析处理转换得到谱图和分析数据输出。

当以背散射电子为调制信号时，由于背散射电子能量比较高，穿透能力强，可从样品中较深的区域逸出(约为有效作用深度的30%左右)。在此深度范围，入射电子已有了相当宽的侧向扩展，所以背散射电子像分辨率要比二次电子像低，一般在500～2000nm左右。

扫描电镜分辨率与电子在试样上的小扫描范围有关

扫描电镜分辨率与电子在试样上的小扫描范围有关，电子束斑越小，电子在试样上的分辨率越高。在保证束斑足够小的情况下，电子束还要有足够的强度。束流太低不能从试样表面激发足够的信号，噪声影响大。二次电子对形貌敏感。凸起部位亮，凹陷部位暗，景深好，细节清晰。 　　背散射电子对原子序数敏感，原子序数高的区域能得到更多的背散射电子，相应图像较亮，可以用来观察材料成分的分部。 　　原子被激发会发出，每种元素受激发射发出的会不同，通过对不同X进行检测，就可知道材料中包括什么元素和比例。