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选用低能电子束,样品不用镀膜,可直接观察样品的形貌和成分衬度

选用低加速电压，即意味着使用低能电子束，入射样品后受到散射的扩散区域小，相互作用区接近表面，有利于表面形貌成像。常规加速电压观察半导体或绝缘体时，样品必须镀导电膜，这时形貌衬度是成像衬度，膜层完全掩盖了样品不同元素出射电子产率的变化，不能观察到样品的成分衬度。选用低能电子束，样品不用镀膜，可直接观察样品的形貌和成分衬度，充分反映出材料的原貌。

对于某些导电性差的材料，如半导体、集成电路、印制板、电脑零件、纸张、纤维、或者含水的动植物样品，要求直接观察微观形貌，使用常规高真空（High vacuum，HV）成像受到限制，应该使用VP（Variable pressure，可变压力模式）或EP（Extend pressure，扩展压力模式）成像技术。

若粉末自身导电,则可直接放入台式扫描电镜中分析

若粉末自身导电，则可直接放入台式扫描电镜中分析，若粉末自身不导电，除非用环境扫描或低真空台式扫描电镜，否则还需蒸镀导电膜后再放入台式扫描电镜中分析。对粉末颗粒的蒸镀选用旋转镀膜台，若没有旋转镀膜台，则至少应采用两次人为相反方向的倾斜摆放进行镀膜，才能解决粉末颗粒造成的掩蔽死角所带来的不利影响，而对于那些用环氧树脂镶嵌并经研磨、抛光、清洗后的样品，通常只要平放蒸镀一次就可以进行分析。

扫描电镜对样品的要求有哪些呢?

扫描电镜对样品的要求有哪些呢？

首先样品要保持干燥，不会被电子束分解，在电子束扫描下热稳定性要好，能提供导电和导热的通道。样品的大小或者厚度需要适用于样品台的安装，观察面要清洁，没有污染物。若需要进行微区成分分析，样品的表面还应该要平整。带有磁性的样品要预先去磁，以免观察时电子束受到磁场影响。如果不去磁，磁性颗粒很容易吸附到扫描电镜的极靴上，会对电镜的分辨率造成影响，所以需要先消磁再上机测试。