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离子溅射镀膜原理及特点

离子溅射镀膜

原理：

离子溅射镀膜是在部分真空的溅射室中辉光放电，产生正的气体离子；在阴极（靶）和阳极（试样）间电压的加速作用下，荷正电的离子轰击阴极表面，使阴极表面材料原子化；形成的中性原子，从各个方向溅出，射落到试样的表面，于是在试样表面上形成一层均匀的薄膜。

特点：

对于任何待镀材料，只要能做成靶材，就可实现溅射（适合制备难蒸发材料，不易得到高纯度的化合物所对应的薄膜材料）；

溅射所获得的薄膜和基片结合较好；

消耗少，每次仅约几毫克；

溅射工艺可重复性好，膜厚可控制，同时可以在大面积基片上获得厚度均匀的薄膜。

双面导电胶带的粒径有几微米量级以上

如果是硬粉末样品，可直接撒在样品台的双面导电胶带表面，再在粉末上面垫一张既光亮又不起毛的洁净纸，如可用双面导电碳胶带上白色的隔层纸盖上，再用表面比较平坦的物体，如镊子的大头部位在所垫的隔层纸上轻微压一下，之后再用洗耳球或吹气吹掉粘结不牢靠的颗粒，也可以在木质或塑料等较硬的桌子旁边敲击几下，以振掉粘结不牢靠的颗粒。如果颗粒的粒径有几微米量级以上，可以寻找粒径相对比较大、表面平整，又呈水平状态的颗粒进行分析。

扫描电子显微镜的工作原理

在现代科学微观分析领域中，扫描电子显微镜已经成为不可或缺的电子显微分析设备。它操作起来简单、，应用领域广泛、实用。相较于电子探针，扫描电镜不仅有着较高的形貌分辨力，同时可搭配不同配件进而做成分分析。秉承操作便捷、快速成像、性能稳定的设计目标。

虽然提高灯丝的工作温度，即加大加热电流可能还能略微加大发射束流、增加一点亮度，但付出的代价将会是使灯丝寿命明显缩短；反之若适当地减小加热电流，则灯丝的工作寿命会相应延长。正常的灯丝加热电流应调在临界饱和状态，从而既可稳定地发射电流，又不至于影响其正常的工作寿命。

若灯丝的加热电流偏小,未达到临界饱和点

若灯丝的加热电流偏小，未达到临界饱和点，则会使灯丝的温度偏低，发射束流偏小且不稳定，结果会导致亮度不足、图像的信噪比变差；若灯丝的加热电流刚好处在临界饱和点，则发射的束流既稳定，亮度又高，图像的信噪比又比较好；若加热的电流超过临界饱和点，则只会增加灯丝的温度，而发射束流不会有明显增加，但会明显缩短灯丝的寿命，这种情况下的阴极激发电极寿命可能只有30~40小时，寿命短的甚至不到20小时。所以在正常工作时，应把灯丝的加热电流设置在临界饱和点，只有在这种状态下，阴极发射的束流才能连续、稳定，且能提供足够的亮度，并且灯丝才能达到正常的预期寿命。