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发布时间:2022-07-30 23:29:00 作者:九鼎
扫描电子显微镜的显示优势
扫描式电镜的电子和聚光镜与透射式电镜的大致相同,但是为了使电子束更细,在聚光镜下又增加了物镜和消像散器;在物镜内部还装有两组互相垂直的扫描线圈。物镜下面的样品室内装有可以移动、转动和倾斜的样品台。
由于扫描电子显微镜可用多种物理信号对样品进行综合分析,并具有可以直接观察较大试样、放大倍数范围宽和景深大等特点,当陶瓷材料处于不同的外部条件和化学环境时,扫描电子显微镜在其微观结构分析研究方面同样显示出极大的优势。主要表现为:
⑴力学加载下的微观动态(裂纹扩展)研究;
⑵加热条件下的晶体合成、气化、聚合反应等研究;
⑶晶体生长机理、生长台阶、缺陷与位错的研究;
⑷成分的非均匀性、壳芯结构、包裹结构的研究;
扫描电镜对样品的要求
样品制备方法
1、块样
对于金属、岩矿或无机物,切割成要求的尺寸,粘在样品台上。如果样品数量多,注意样品尺寸一致。
微区成份分析样品表面应该平台或经研磨抛光,可以保证检测时几何条件不变。对于样品的断口面,要选择起伏不大的部位,是分析点附近有小的平坦区。样品表面和底面应该平行。
非导电或导电性较差的材料,要***行镀膜处理,在材料表面形成一层导电膜。以避免电荷积累,影响图像质量,并可防止试样的热损伤。
2、粉样
(1)微米级粉料:将粉样撒在样品台的双面胶上,用手指轻弹样品台四周,粉料会均匀地向四周移动,铺平一层,侧置样品台,把多余粉料抖掉;用纸边轻刮、轻压粉料面,使粉料与胶面贴实;用耳球从不同方向吹拂粉料。经此过程,粉料已牢固、均匀地粘在双面胶上。
(2)对于亚微米级或纳米粉料进行成分分析:利用压片机压成结实的薄片。把薄片用双面胶粘在样品台上 。
扫描电镜基本操作
需要熟悉的扫描电镜基本操作
基本操作包括熟练的调节对焦和消像散。对焦相对容易,改变焦距,直至图像清楚的时刻即为合焦。在偏离焦距较多的时候可以用较高的灵敏度,在合焦点附近调低灵敏度,以便进行准确对焦。
基本操作中消像散相对来说比较麻烦,特别是像散很大时,对于很多初学者来说调节比较困难。不过前面已经介绍了像散的产生,电子束由于不再是圆形,所以在像散未消除的情况下,图像是不清晰的。不过其中有两个特殊的位置,即光学中的子午和弧矢,在这两个位置上束斑完全成正交的直线。而明晰圆一般在弧矢和子午的中间。
有关拉伸方向的判断并不困难,试样中的各种特征点都可以作为判断依据,尤其在像散比较大时,不要焦距和像散的两个维度乱调一气,以免像散过大而完全无从判断。
扫描电镜的应用
扫描电镜的相关应用
一点,在大视场、低放大倍数下观察样品,用扫描电镜观察试样的视场大:大视场、低倍数观察样品的形貌对有些领域是非常有必要的,比方说在侦察以及考古方面。
其次第二点,进行从高倍到低倍的连续观察:扫描电镜的放大倍数范围很宽(从五到二十万倍连续可调),并且一次聚焦好后便可以从高倍到低倍、从低倍到高倍连续观察,不用重新聚焦,这对进行分析十分便利。
第三点,观察生物试样:因为电子照射面发生试样的损伤与污染程度很小,这一点对观察一些生物试样尤为重要。
第四点,进行动态观察:假如在样品室内装有加热、冷却、弯曲、拉伸与离子刻蚀等附件,那么就能够观察相变、断烈等动态的变化过程。
第五点,从试样表面形貌获得多方面资料由于扫描电子象不是同时记录的,它是分解为近百万个逐次依此记录构成的。让扫描电镜除了观察表面形貌外还能进行成分以及元素的分析,还有通过电子通道花样进行结晶学分析,选区尺寸可以从10μm到3μm。
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