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发布时间:2022-08-17 17:21:00 作者:九鼎
空间角度分布与入射电子和试样表面的入射角有关
背散射电子的空间角度分布与入射电子和试样表面的入射角有关。高角度(>30°)的背散射像适宜于显示原子序数衬度;低角度(<30°)的背散射像适宜于显示试样表面的几何形貌衬度。在扫描电镜中,非弹性散射的背散射电子的能量分布范围很宽,从几十eV到几十千eV。从数量上看,弹性背散射电子所占的份额远比非弹性背散射电子多。
在扫描电镜中检测的试样,其准备工作十分简便。对导电体试样,可以不做任何预处理,只要其大小形状适合试样室,即可置入仪器试样室检测。对非导电体试样,则在置入试样室前,要在真空镀膜机中对其待测表面喷镀一薄层导电物质,常用的是金或碳。
半导体器件(IC)研究中的特殊应用
在半导体器件(IC)研究中的特殊应用:
1)利用电子束感生电流EBIC进行成像,可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究
2)利用样品电流成像,结果可显示电路中金属层的开、短路,因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。
3)利用二次电子电位反差像,反映了样品表面的电位,从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况,特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。
4、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式),晶体取向分布分析,基于晶体结构的相鉴定。
扫描电镜能谱一体机内部集成了用于分析样品元素组分的能谱仪
扫描电镜能谱一体机是光学表征仪器产品的全明星,用户通过一台设备就可以实现形貌表征及元素分析功能。研究样品时,得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常必要的。
扫描电镜能谱一体机内部集成了用于分析样品元素组分的能谱仪。对于很多既需要观察表面形貌又要检测表面元素组分分布的用户非常适用,既减轻了用户单次设备采购成本,又具有体积小、集成化高、故障率低、易于使用维护等诸多优点。
钨灯丝台式扫描电镜价格
钨灯丝台式扫描电镜价格也是在购买相应钨灯丝台式扫描电镜的过程中关心的因素,一般钨灯丝台式扫描电镜的价格和哪些因素有着很大的关系呢?首先是设备的性能以及品牌,功能越多或者性能更加出众的钨灯丝台式扫描电镜在价格上占据更高,其次是购买渠道的选择,同样定位一台相同的钨灯丝台式扫描电镜,选择的购买渠道不一样,价格因素也会不一样。
选择合适的钨灯丝台式扫描电镜商家显得很重要,包括相应的市场规模以及市场口碑等,一般在选择钨灯丝台式扫描电镜商家的时候一定需要从人员的角度以及设备的数量等进行考虑,而所谓的市场口碑就是相应的市场认知度,一般从钨灯丝台式扫描电镜的销量进行考虑,销量越是良好的商家说明越是受到市场的认可。
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