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扫描电子显微镜的应用

　扫描电子显微镜广泛用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。

　　显微镜在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域，进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体/晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。

　　其工作原理为：在高真空的镜筒中，由电子***产生的电子束经电子会聚透镜聚焦成细束后，在样品表面逐点进行扫描轰击，产生一系列电子信息（二次电子、背反射电子、透射电子、吸收电子等），由探测器将各种电子信号接收后经电子放大器放大后输入由显像管栅极控制的显像管。

全自动扫描电镜的组成结构

全自动扫描电镜位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象，这一小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，所以可以用于纳米级样品的三维成像，工作距离指从物镜到样品高点的垂直距 离，如果增加工作距离，可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深，如果减少工作距离，则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。全自动扫描电镜电子和背散射电子可以用于成象，但后者不如前者，所 以通常使用次级电子。

由于电子束只能穿透样品表面很浅的一层，所以只能用于表面分析。表面分析以特征X射线分析常用，所用到的探测器有两种：能谱分析仪与波谱分析仪，前者速度快但精度不高，后者非常，可以检测到“痕 迹元素”的存在但耗时太长。全自动扫描电镜的组成结构，了解其组成结构有利于我们更加合理的使用扫描电镜，从而延长扫描电镜的使用寿命及提高操作

电镜在催化剂观察中的应用

配备有能谱的扫描电镜是一种重要的表面分析手段，能够观察催化剂表面形貌和检测催化剂表面微区成分，对催化剂的研发具有十分重要的意义。台式扫描电镜能谱一体机 ProX 既能观察样品表面形貌，还可以利用能谱对催化剂表面成分和元素分布进行分析。

从催化剂的微观观点上看，催化剂表面形貌和组成对催化行为具有重要的影响，电镜配置二次电子和背散射电子探头，能够充分发掘样品表面信息。催化剂中活性成分的分散状态与催化剂活性及使用寿命有着密切的关系，采用能谱分析可以对催化剂表面进行元素分析，从而判断活性成分的分布。同时，利用台式电镜也可以用于分析催化剂活性下降或失活的原因。

扫描电子显微镜样品的处理过程

主要包含表面的清洁、固定、漂洗以及脱水等过程，基本上和透射电镜样品的处理方法比较类似，但也有它特别的地方。

　　扫描电子显微镜样品的处理过程点，样品大小：所切取的样品比透射电镜样品稍微大一点，是八至十平方毫米，高大概是五毫米。

　　扫描电子显微镜样品的处理过程第二点，清洁表面：清洁表面并且充分暴露样品表面。经常使用的清洗液有蒸馏水、生理盐水、缓冲液还有含酶的清洗液等。

　　扫描电子显微镜样品的处理过程第三点，固定和脱水：经常使用的固定方法是-四氧化饿双重固定，也可以用单固定法。

　　经常使用的脱水剂是乙醇或者。脱水剂浓度梯度增加，从百分之三十或者百分之五十开始到进行脱水；容易变形样品脱水剂浓度梯度宜缓慢递增。