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台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统

台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统及电源系统组成。

　　电子光学系统：电子光学系统由电子、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束，作为使样品产生各种物理信号的激发源。

　　电子：其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。

　　电磁透镜：其作用是把电子的束斑逐渐聚焦缩小，使原来直径约50um的束斑缩小成一个只有数nm的细小束斑。

　　扫描线圈：其作用使电子束进入末级透镜强磁场区前就发生偏转。

影响扫描电镜的分辨本领的主要因素

影响扫描电镜的分辨本领的主要因素有：

　　A. 入射电子束束斑直径：为扫描电镜分辨本领的极限。一般，热阴极电子的很小束斑直径可缩小到6nm，场发射电子可使束斑直径小于3nm。

　　B. 入射电子束在样品中的扩展效应：扩散程度取决于入射束电子能量和样品原子序数的高低。入射束能量越高，样品原子序数越小，则电子束作用体积越大，产生信号的区域随电子束的扩散而变大，从而降低了分辨率。

　　C. 成像方式及所用的调制信号：当以二次电子为调制信号时，由于其能量低(小于50 eV)，平均自由程短(10~100 nm左右)，只有在表层50～100 nm的深度范围内的二次电子才能逸出样品表面， 发生散射次数很有限，基本未向侧向扩展，因此，二次电子像分辨率约等于束斑直径。

台式扫描电镜的真空要求和小容量的抽真空使

台式扫描电镜的真空要求和小容量的抽真空使台式扫描电镜抽真空时间短，也比传统落地扫描电镜呈像速度快。台式扫描电镜可直接操作，节省了实验操作人员执行分析，准备报告并传达结果所需的时间。除了台式扫描电镜系统响应快之外，分析即时性和用户实时根据观察结果来指导研究工作是具有要当大的潜在价值的。在一些应用中，比如钙钛矿的观察，因为钙钛矿在空气中非常容易氧化，因此如果抽真空的时间过长，样品的表面形貌和成分会发生改变，台式扫描电镜能有效地减小钙钛矿的氧化。