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扫描电子显微镜的应用

　扫描电子显微镜广泛用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。

　　显微镜在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域，进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体/晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。

　　其工作原理为：在高真空的镜筒中，由电子***产生的电子束经电子会聚透镜聚焦成细束后，在样品表面逐点进行扫描轰击，产生一系列电子信息（二次电子、背反射电子、透射电子、吸收电子等），由探测器将各种电子信号接收后经电子放大器放大后输入由显像管栅极控制的显像管。

高分辨率台式扫描电镜是一种大型精密仪器

　高分辨率台式扫描电镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统，是一种大型精密仪器，它是机械学、光学、电子学、热学、材料学、真空技术等多门学科的综合应用。

　　真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器，真空泵用来在真空柱内产生真空，有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足真空要求，需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中，真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。

　　之所以要用真空，主要基于以下两点原因：电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成像的电子更多。热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射电子***的SEM上，电磁透镜*。

扫描电子显微镜的区别

金相显微镜与扫描电子显微镜的区别

一点，屏幕分辨率：金相显微镜因为光的干涉和透射功效，屏幕分辨率仅有限于0.2-0.5um中间。扫描电子显微镜因为采用离子束做为光源，它的屏幕分辨率可以做到1-3nm中间，因为金相显微镜的机构观查归属于μm级剖析，扫描电子显微镜的机构观察归属于纳米剖析。

　　其次第二点，景深：通常金相显微镜的景深在2-3um中间，因为对试品的表面光洁水平具有十分高的规定，所以制样全过程相对性十分繁杂。扫描电子显微镜的景深则能够达到好多个。

　　金相显微镜（metallurgical microscope）是用出射照明灯具来观察金属材料试件表面（合金成分）的光学显微镜，它是把显微镜技术性、光电转换技术性、电子计算机图象处理技术性地融合在一起从而开发设计研发成的新科技产品，可以在电子计算机上很便捷地观查金相分析图象，进而对金相分析图普开展剖析，定级等还有对图片开展輸出以及复印。