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发布时间:2021-11-16 03:15:00 作者:九鼎
扫描式电子显微镜工作原理
扫描式电子显微镜是一种超高分辨的具表面测试技术的分析仪器。可用于微粒、金属薄片等表面性质的研究。主要是利用电子束在样品表面上逐点扫描,通过电子束与样品相互作用,从样品上激发出与样品性质有关的各种信息(如二次电子、背射电子、`X`射线等),通过分别收集这些从样品上激发出的信息,经电子线路放大处理后输入以阴极射线管的栅极,控制其电子束的强弱,也即控制阴极射线管的亮度来显示样品的图象。可进行各种图象观察、元素分析及品体结构分析。
扫描式电子显微镜的制造依据是电子与物质的相互作用。
扫描式电子显微镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。
扫描电子显微镜的应用
扫描电子显微镜广泛用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。
显微镜在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域,进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体/晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。
其工作原理为:在高真空的镜筒中,由电子***产生的电子束经电子会聚透镜聚焦成细束后,在样品表面逐点进行扫描轰击,产生一系列电子信息(二次电子、背反射电子、透射电子、吸收电子等),由探测器将各种电子信号接收后经电子放大器放大后输入由显像管栅极控制的显像管。
扫描电子显微镜的结构:
扫描电子显微镜的结构:
扫描电子显微镜是由三大部分组合而成的:真空系统,电子束系统还有成像系统。
1.真空系统,主要包含真空泵以及真空柱这两部分。真空柱是一个密封的柱形容器,真空泵则用来在真空柱内产生真空。
2.电子束系统,电子束系统主要是由电子以及电磁透镜这两部分组合而成,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像。电子用于产生电子,主要有利用场致发射效应产生电子还有利用热发射效应产生电子两种。
3.成像系统,电子通过一系列电磁透镜成束之后,打到样品上和样品相互作用,会产生次级电子、背散射电子、欧革电子还有X射线等一系列信号。因此需要不同的探测器比方说次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号为了获得所需要的信息。
简述什么是扫描电子显微镜
扫描电子显微镜是一种应用于高分辨率微区形貌分析的大型周详仪器。拥有分辨率极高、景深大、立体感极强、成像直观、扩大倍数范围宽还有待测样品能够在三维空间内举行歪斜与扭转等特征。除此之外还拥有能够测样品类别多样,基本上不毁伤以及原始样品还有能够同一时间取得结构、成份、形貌以及结晶学信息等好处。现在,扫描电子显微镜已经被普遍使用于各个领域,比方说:生命科学领域、物理学领域、化学领域、法律领域、地球科学领域、材料学领域还有工业制造等领域的微观研究,仅仅在地球科学方面就包含了矿床学、沉积学、结晶学、地球化学、矿物学、工程地质微体古生物、天文地质、宝石学、油气地质以及构造地质等。
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