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发布时间:2021-11-16 03:36:00 作者:九鼎







描电镜和透射电镜对样品的要求
1、扫描电镜
扫描电镜制样对样品的厚度没有特殊要求,可以采用切、磨、抛光或解理等方法将特定剖面呈现出来,从而转化为可以观察的表面。这样的表面如果直接观察,看到的只有表面加工损伤,一般要利用不同的化学溶液进行择优腐蚀,才能产生有利于观察的衬度。不过腐蚀会使样品失去原结构的部分真实情况,同时引入部分人为的干扰,对样品中厚度的薄层来说,造成的误差更大。
2、透射电镜
由于透射电镜得到的显微图像的质量强烈依赖于样品的厚度,因此样品观测部位要非常的薄,例如存储器器件的透射电镜样品一般只能有10~100nm的厚度,这给透射电镜制样带来很大的难度。初学者在制样过程中用手工或者机械控制磨制的成品率不高,一旦过度削磨则使该样品报废。透射电镜制样的另一个问题是观测点的定位,一般的制样只能获得10mm量级的薄的观测范围,这在需要分析的时候,目标往往落在观测范围之外。目前比较理想的解决方法是通过聚焦离子束刻蚀(FIB)来进行精细加工。

扫描电子显微镜的应用
扫描电子显微镜广泛用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。
显微镜在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域,进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体/晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。
其工作原理为:在高真空的镜筒中,由电子***产生的电子束经电子会聚透镜聚焦成细束后,在样品表面逐点进行扫描轰击,产生一系列电子信息(二次电子、背反射电子、透射电子、吸收电子等),由探测器将各种电子信号接收后经电子放大器放大后输入由显像管栅极控制的显像管。

扫描电子显微镜的区别
金相显微镜与扫描电子显微镜的区别
一点,屏幕分辨率:金相显微镜因为光的干涉和透射功效,屏幕分辨率仅有限于0.2-0.5um中间。扫描电子显微镜因为采用离子束做为光源,它的屏幕分辨率可以做到1-3nm中间,因为金相显微镜的机构观查归属于μm级剖析,扫描电子显微镜的机构观察归属于纳米剖析。
其次第二点,景深:通常金相显微镜的景深在2-3um中间,因为对试品的表面光洁水平具有十分高的规定,所以制样全过程相对性十分繁杂。扫描电子显微镜的景深则能够达到好多个。
金相显微镜(metallurgical microscope)是用出射照明灯具来观察金属材料试件表面(合金成分)的光学显微镜,它是把显微镜技术性、光电转换技术性、电子计算机图象处理技术性地融合在一起从而开发设计研发成的新科技产品,可以在电子计算机上很便捷地观查金相分析图象,进而对金相分析图普开展剖析,定级等还有对图片开展輸出以及复印。

扫描电子显微镜的原理介绍
扫描电子显微镜的原理介绍: 扫描电子显微镜是一种利用高能聚焦电子束扫描样品表面,从而获得样品信息的电子显微镜。因此其使用电子束为照明源,电子束在样品表面扫描,利用电子还有物质作用所产生的信息结合电子光学原理进行成像。判断扫描电镜性能主要根据分辨率还有有效放大倍数。分辨率也就是可以分辨的小距离。 扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜与光学显微镜之间的一种观察手段。它是运用聚焦十分窄的高能电子束来扫描样品,通过光束合物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大还有再成像为了达到对物质微观形貌表征的目的。

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