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发布时间:2021-11-23 05:14:00 作者:九鼎
扫描电镜之电子探针
元素分析范围广
电子探针所分析的元素范围一般从硼(B)——铀(U),因为电子探针成份分析是利用元素的特征X 射线,而氢和氦原子只有K 层电子,不能产生特征X 射线,所以无法进行电子探针成分分析。锂(Li)和铍(Be)虽然能产生X 射线,但产生的特征X 射线波长太长,通常无法进行检测,少数电子探针用大面间距的皂化膜作为衍射晶体已经可以检测Be元素。能谱仪的元素分析范围现在也和波谱相同,分析元素范围从硼(B)——铀(U)
扫描电子显微镜的结构组成
1、真空系统
成像系统和电子束系统均内置于真空柱中。真空柱的底部是密封室,也就是放置样品的地方。
??之所以采用真空,主要基于以下两个原因:
? 电子束系统中的灯丝在普通大气中会很快氧化失效,所以使用SEM时除了真空外,通常还需要用纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。
??为了增加电子的平均自由程,使更多的电子用于成像。
2. 电子束系统
电子束系统由电子和电磁透镜组成。主要用于产生能量分布很窄且具有一定电子能量的电子束,用于扫描成像。
扫描电子显微镜的操作
扫描电子显微镜的操作 1. 安装样品 1) 按“Vent ”直至灯闪,对样品交换室放氮气,直至灯亮; 2) 松开样品交换室锁扣,打开样品交换室,取下原有的样品台,将已固定好样品的样品台,放到送样杆末端的卡抓内(注意:样品高度不能超过样品台高度,并且样品台下面的螺丝不能超过样品台下部凹槽的平面); 3) 关闭样品交换室门,扣好锁扣; 4) 按“EVAC ”按钮,开始抽真空,“EVAC ”闪烁,待真空达到一定程度,“EVAC ”点亮; 5) 将送样杆放下至水平,向前轻推至送样杆完全进入样品室,无法再推动为止,确认“Hold ”灯点亮, 将送样杆向后轻轻拉回直至末端台阶露出导板外将送样杆竖起卡好。(注意:推拉送样杆时用力一定要沿送样杆轴线方向,以防损坏送样杆)
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