天津电镜分析中心***「九鼎」

台式扫描电镜可以获得高分辨率和真实的厚样品形貌

台式扫描电镜可以获得高分辨率和真实的厚样品形貌扫描电子显微镜的分辨率介于光学显微镜和透射电子显微镜之间，但在比较厚样品的观察时，由于透射电子显微镜也采用层压法，层压的分辨率通常只有10nm，而且观察的不是样品本身。因此，用扫描电镜观察厚样品，获得样品的真实表面数据更为有利。台式扫描电镜对于从高功率到低功率的连续观测，放大倍数的变化范围非常大，并且不经常需要焦点扫描电镜放大倍数范围广（连续可调5-20万倍），一次聚焦后可连续观察从高到低、从低到高，无需再聚焦，特别便于事故分析。

二次电子成象是使用扫描电镜所获得的各种图象中应用比较广泛的

二次电子成象是使用扫描电镜所获得的各种图象中应用比较广泛的, 分辨本领也很高的一种图象。我们以二次电子成象为例来说明扫描电镜成象的原理。

由电子发射的电子束高可达30keV, 经会聚透镜、物镜缩小和聚焦, 在样品表面形成一个具有一定能量、强度、斑点直径的电子束。在扫描线圈的磁场作用下, 入射电子束在样品表面上按照一定的空间和时间顺序做光栅式逐点扫描。由于入射电子与样品之间的相互作用, 将从样品中激发出二次电子。由于二次电子收集极的作用, 可将各个方向发射的二级电子汇集起来, 再将加速极加速射到闪烁体上, 转变成光信号, 经过光导管到达光电倍增管, 使光信号再转变成电信号。这个电信号又经视频放大器放大并将其输送至显像管的栅极, 调制显像管的亮度。因而, 再荧光屏上呈现一幅亮暗程度不同的、反映样品表面形貌的二次电子象。

放大倍率此时,我们可以直观地看图片,直接观察标尺,观察一个数

放大倍率此时，我们可以直观地看图片，直接观察标尺，观察一个数字，然后从显示器上测量如果是10cm，视频显微镜的放大倍率是100倍如果是13cm，是130倍因为1cm等于10mm，10cm等于100mm，放大倍率是100倍，当然，这是简单的方法。

如果我想用术语来计算，我必须用物镜的倍数乘以目镜的倍数乘以工业相机的参数，然后乘以显示器的大小，结果就是放大率如果物镜和目镜之间有一个直接的界面，我必须乘以界面的值，结果就是放大率。