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发布时间:2022-03-14 05:47:00 作者:九鼎
扫描电子显微镜(SEM)之样品导电膜的制备技术
扫描电子显微镜(SEM)之样品导电膜的制备技术
理想膜层的特点
良好的导热和导电性能。
在3-4nm分辨率尺度内不显示其几何形貌特点,避免引入不必要的人为图像。
不管样品的表面形貌如何,覆盖在所有部位的膜层需要薄厚均匀。
膜层对样品明显的化学成分产生干扰,也不显着的改变从样品中发射的X射线强度。
这层膜主要增加样品表面的导电性能和导热性能,导电金属膜层的厚度普遍电位在1-10nm。
导电膜制备技术
在样品表面形成薄膜有多种方法,对于扫描电镜和X射线显微分析,只有热蒸发和离子溅射镀膜实用。
蒸发镀膜:许多金属和无机绝缘体在真空中被某种方法加热,当温升足够高蒸发气压达到1.3Pa以上时,就会迅速蒸发为单原子。
纳米尺寸研究
纳米材料是纳米科学技术基本的组成部分,只有几纳米的"粒子"可以通过物理、化学和生物方法制备。纳米材料应用广泛。例如,陶瓷材料一般具有硬度高、耐磨、耐腐蚀等优点。纳米陶瓷还可以在一定程度上增加韧性,改善脆性。纳米级、纳米级等新型陶瓷纳米材料也是一个重要的应用领域。纳米材料的所有性主要源于其纳米尺寸。因此,要准确知道其尺寸,否则纳米材料的研究和应用将失去基础。纵观目前国内外的研究现状和新成果,该领域的检测方法和表征方法可采用透射电子显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜等技术,但高分辨率扫描电子显微镜的观察和尺寸检测由于其简单性和可操作性的优点而被广泛使用。此外,如果将扫描电子显微镜和扫描隧道显微镜结合起来,可以将普通的扫描电子显微镜升级为高分辨率的扫描电子显微镜。
热场发射扫描电子显微镜的类型
扫描电子显微镜的类型
扫描电子显微镜类型多样, 不同类型的扫描电子显微镜存在性能上的差异。根据电子种类可分为三种:场发射电子、钨丝和六硼化镧 。
其中, 场发射扫描电子显微镜根据光源性能可分为冷场发射扫描电子显微镜和热场发射扫描电子显微镜。
冷场发射扫描电子显微镜对真空条件要求高, 束流不稳定, 发射体使用寿命短, 需要定时对针尖进行清洗, 仅局限于单一的图像观察, 应用范围有限;而热场发射扫描电子显微镜不仅连续工作时间长, 还能与多种附件搭配实现综合分析。
在地质领域中, 我们不仅需要对样品进行初步形貌观察, 还需要结合分析仪对样品的其它性质进行分析, 所以热场发射扫描电子显微镜的应用更为广泛。
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