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冷场发射扫描电镜是材料科学和化学领域的分析仪器

冷场发射扫描电镜是材料科学和化学领域的分析仪器，热场发射扫描电镜是物理、材料科学和能源科学技术领域的分析仪器。热场发射扫描电镜应用广泛。冷场发射扫描电镜是超显微、形貌与成分分析相结合。而热场发射扫描电镜是物理学，材料科学，能源科学技术。

扫描显微镜是介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的观察方法。它使用窄聚焦高能电子束扫描样品，通过电子束与材料之间的相互作用激发各种物理信息，并收集，放大并重新成像这些信息以表征材料的微观形态。

扫描电镜的电子光学系统能正常、稳定地工作

为了保证扫描电镜的电子光学系统能正常、稳定地工作，电子和镜筒内部都需要有很高的真空度。真空度越高，越能减少对入射电子的散射，并能延长电子阴极的寿命，还会降低高压电极间的放电、打火和对电子束通道的污染。

目前，电镜真空系统佳的搭配是采用干泵（无油机械泵与涡轮分子泵的组合）来抽真空，这种搭配可以大大降低真空系统中的残余气体和反流的油蒸气形成的碳氢聚合物对试样表面的污染。

电镜镜筒真空度差怎么办?

如果电镜镜筒中的真空度差，不仅会明显缩短灯丝寿命，严重的还会造成高压电极间的打火、击穿，甚至会造成试样表面污染加快等问题。

另外，若所用的真空泵油质量不好，其饱和蒸气压大， 则腔体内真空度很难提高，这样不仅样品仓和电子通道易受到油蒸气的污染，时间长了能谱探测器的密封窗膜表面也会因受到污染物的黏附而变厚， 进而影响超轻元素和低能段的峰高。

关于大块样品的测试，的办法就是将样品裁小，样品尺寸变小，对应的气孔也会变少，电镜的真空度也就很容易上去。

如果样品不能裁剪，需要将样品充分干燥，适当升高烘干温度，还可将样品放入喷金仪中抽真空一段时间，这样能减少样品内部的空气。