天津三维重构-9d实验室样品测试-江门三维重构

扫描电镜带能谱结合了表面成像功能和元素分析EDS功能，EDS（能谱仪）可以准确的进行样品表面元素的定性和定量分析。台式电镜能谱仪体积小巧，三维重构中心，完全嵌入在电镜主机中，江门三维重构，采用半导体制冷，无需额外冷却系统。与光学显微镜类似，扫描电镜也通过透镜来控制电子路径。但因为电子无法穿过玻璃，所以扫描电镜要使用电磁透镜。它们由线圈和金属极片构成。当电流通过线圈，就会产生磁场。由于电子对磁场非常敏感，因此只需调节所施加的电流大小就可以控制镜筒内的电子路径。

二次电子主要是来自于距试样表面1~10nm之间深度的亚表面（试样表面0~1nm之间深度发出的电子主要为俄歇电子），二次电子能量在0~50eV之间，平均能量约30eV，所以这些二次电子能很好地显示出试样表面的微观形貌。由于入射电子仅经过几纳米的路径，还没有被多次反射和明显扩散，因此在入射电子照射的作用区内产生的二次电子区域与入射束的束斑直径差别不大，所以在同一台电镜中二次电子像的分辨能力。二次像的分辨力优于背散射像，背散射像的分辨力优于吸收电流像，天津三维重构，吸收电流像的分辨力优于阴极荧光像。目前场发射和钨阴极电镜的二次电子像的分辨力都能分别优于1.0nm和3.0nm。一般情况下，扫描电镜的指标中所提及的图像分辨力，若没有特别说明，都是泛指二次电子像的分辨力。

在实际工作中要采集到一幅好照片，除了要有好的台式扫描电镜设备之外，选择合适的加速电压值也是很重要的一步。选择高、低不同的加速电压各有不同的优缺点，通常应根据试样的组分和分析目的的不同来考虑，即金属试样一般会选择较高的加速电压，三维重构机构，轻元素组成的试样一般会选择较低的加速电压。

台式扫描电镜图像的成像信息来源越趋于表面，图像的表面细节就越显得丰富、细腻，特别是会明显减少边缘效应，使得到的图像显得更协调、柔和。另外，低加速电压、小束斑对试样表面的损伤小，不容易造成试样的荷电和图像的漂移，也会减轻对试样的损伤。