9d实验室样品测试-天津不导电样品电镜分析

扫描电镜能谱一体机标配光学导航功能，点击感兴趣的区域，在数秒内既可以得到样品微观形貌信息，点击切换至能谱软件界面可快速得到该区域的表面元素分布信息。扫描电镜能谱软件可以使用户实现多点分析，灵活检测样品的元素组分。同时，该软件还支持元素分析线扫、面扫功能。优化精简的操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。

扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗 粒，成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是主要的成像信号。

这些不同细节的部位发出的二次电子数各不相同，从而产生亮暗不一的衬度。由于二次电子的能量小，用 E-T探测器检测时，仅需在其前面的栅网上加几百伏的正电位，常施加的电位为+250~+300V，即通过该电位就可把试样上发射出来的大部分二次电子吸引过来，所以二次电子像的阴影效应不明显。在二次电子探测器所对应的立体角内也能接收到相应的一小部分背散射电子，所以在二次电子像中也包含了一小部分背散射电子的信息，如图b中对应的背散射电子成分像的一些衬度信息也能在图a中反映出来，天津不导电样品电镜分析，只不过图a中所显现的原子序数的衬度没有像图b中那么明显而已。

国产台式扫描电镜采用钨灯丝电子，加速电压在1-15kV范围内连续可调，搭配二次电子探测器、背散射电子探测器、集成式oxford能谱仪，同时满足形貌观测及元素分析需求。当有电流流经灯丝时，阴极被直接加热，钨灯丝中的电子受热激发，在加速电场的作用下，电子定向发射。在正常的工作温度下，电子从大约100um×150um的面积发射离开“V”形阴极。当阴极的发射温度增加时，其发射电流以指数的方式快速增长，使得束斑亮度大增。