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广东扫描电镜测试-天津市9d实验室-扫描电镜测试中心

询盘留言|投诉|申领|删除 产品编号:504895100                    更新时间:2022-06-16
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扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用

扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。

原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理,广东扫描电镜测试,采用不同的信息检测器,使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集,扫描电镜测试价格,可得到有关物质微观形貌的信息;对X射线的采集,可得到物质化学成分的信息。

半导体器件(IC)研究中的特殊应用

在半导体器件(IC)研究中的特殊应用:

 1)利用电子束感生电流EBIC进行成像,可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究

 2)利用样品电流成像,结果可显示电路中金属层的开、短路,扫描电镜测试哪家好,因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。

 3)利用二次电子电位反差像,反映了样品表面的电位,从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况,特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。

 4、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式),晶体取向分布分析,基于晶体结构的相鉴定。

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