企业等级: | 普通会员 |
经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 天津 天津市 |
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扫描电子显微镜SEM 基本参数
放大率:通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率,只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到
场深:扫描电子显微镜SEM中,位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深,通常为几纳米厚,所以,SEM可以用于纳米级样品的三维成像。
工作距离:工作距离指从物镜到样品高点的垂直距离。如果增加工作距离,可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。 如果减少工作距离,则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。通常使用的工作距离在5毫米到10毫米之间。
扫描电镜带能谱结合了表面成像功能和元素分析EDS功能,EDS(能谱仪)可以准确的进行样品表面元素的定性和定量分析。台式电镜能谱仪体积小巧,完全嵌入在电镜主机中,采用半导体制冷,无需额外冷却系统。与光学显微镜类似,扫描电镜也通过透镜来控制电子路径。但因为电子无法穿过玻璃,所以扫描电镜要使用电磁透镜。它们由线圈和金属极片构成。当电流通过线圈,就会产生磁场。由于电子对磁场非常敏感,因此只需调节所施加的电流大小就可以控制镜筒内的电子路径。
扫描电镜分辨率与电子在试样上的小扫描范围有关,电子束斑越小,电子在试样上的分辨率越高。在保证束斑足够小的情况下,电子束还要有足够的强度。束流太低不能从试样表面激发足够的信号,噪声影响大。二次电子对形貌敏感。凸起部位亮,凹陷部位暗,景深好,细节清晰。 背散射电子对原子序数敏感,原子序数高的区域能得到更多的背散射电子,天津环境场扫描电镜测试,相应图像较亮,可以用来观察材料成分的分部。 原子被激发会发出,每种元素受激发射发出的会不同,通过对不同X进行检测,就可知道材料中包括什么元素和比例。