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九鼎(天津)新材料科技有限公司

主营: 电镜检测

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三维重构费用-九鼎(在线咨询)-淄博三维重构

询盘留言|投诉|申领|删除 产品编号:505259501                    更新时间:2022-06-18
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桌面型扫描电镜的使用特点

桌面型扫描电镜的扫描速度快,信号采集带宽10M,可以在视频模式下流畅实时的显示样品。只需鼠标就可完成所有操作,不需对中光阑等复杂步骤,聚焦消像散后可直接拍图。

桌面型扫描电镜的几个使用特点:

 1、体型小巧,无需准备独立实验室;

 2、结构设计简洁,人性化设计,易于维护及保养;

 3、高真空(10-3Pa)及15kV宽加速电压(1kV步进),可满足不同样品的测试需求;

 4、不断优化的软件功能,让不同经验的使用人员都能轻松上手操作。

半导体器件(IC)研究中的特殊应用

在半导体器件(IC)研究中的特殊应用:

 1)利用电子束感生电流EBIC进行成像,淄博三维重构,可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究

 2)利用样品电流成像,结果可显示电路中金属层的开、短路,因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。

 3)利用二次电子电位反差像,反映了样品表面的电位,从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况,特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。

 4、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式),晶体取向分布分析,基于晶体结构的相鉴定。

台式扫描电镜主机集成高压及控制系统,体积小巧,便于移动,可出差携带,安装无需特殊环境,只需找一张桌子,供电就可工作。扫描电镜照片是灰度图像,分为二次电子像和背散射电子像,主要用于表面微观形貌观察或者表面元素分布观察。一般二次电子像主要反映样品表面微观形貌,天津三维重构,基本和自然光反映的形貌一致,特殊情况需要对比分析。背散射电子像主要反映样品表面元素分布情况,越亮的区域,原子序数越高。

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