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景深是指焦点前后的一个距离范围，该范围内所有物点所成的图像符合分辨率要求，可以成清晰的图像；也即，景深是可以被看清的距离范围。

　扫描电子显微镜的景深比透射电子显微镜大10倍，比光学显微镜大几百倍。由于图像景深大，所得扫描电子像富有立体感。电子束的景深取决于临界分辨本领d0和电子束入射半角αc。其中，临界分辨本领与放大倍数有关，因人眼的分辨本领约为0.2 mm， 放大后，要使人感觉物像清晰，要使电子束的分辨率高于临界分辨率d0 ：电子束的入射角可通过改变光阑尺寸和工作距离来调整，用小尺寸的光阑和大的工作距离可获得小的入射电子角。

建立大型分析测试时，扫描电镜可以起到承上启下的作用，早期能满足大部分的测试需要，后期可以从外部使用者对于更高的性能需求和成本进行基于经验的评估，球差电镜测试费用，有针对性地完善整个扫描电镜测试系统。

有多少人将使用该系统?用户是否受过培训?如果不是，他们愿意投入多少时间进行培训?台式扫描电镜的操作非常简单，球差电镜测试机构，样品制备流程非常简单，获取图像可以像点击几个按钮一样简单。具有特定需求的用户，只要投入一点时间进行培训，就可以访问更高的的程序。总的来说，球差电镜测试哪家好，台式扫描电镜对操作员培训的要求要低得多，而且系统本身更加稳定。而且设备耐使，不容易坏，潜在的维修成本也很低。

由电子发射的能量为 5 ～ 35keV 的电子，以其交 叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度 和束斑直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用，济南球差电镜测试，产生二次电子发射(以及其它物 理信号)，二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集 转换成电讯号，经视频放大后输入到显像管栅极，调制与入射电子束同步扫描的 显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像。