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九鼎(天津)新材料科技有限公司

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聊城电镜测试-电镜测试中心-九鼎(推荐商家)

询盘留言|投诉|申领|删除 产品编号:505900174                    更新时间:2022-06-21
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台式扫描电镜图像的成像信息

在实际工作中要采集到一幅好照片,除了要有好的台式扫描电镜设备之外,选择合适的加速电压值也是很重要的一步。选择高、低不同的加速电压各有不同的优缺点,通常应根据试样的组分和分析目的的不同来考虑,电镜测试机构,即金属试样一般会选择较高的加速电压,轻元素组成的试样一般会选择较低的加速电压。

台式扫描电镜图像的成像信息来源越趋于表面,图像的表面细节就越显得丰富、细腻,特别是会明显减少边缘效应,使得到的图像显得更协调、柔和。另外,低加速电压、小束斑对试样表面的损伤小,电镜测试费用,不容易造成试样的荷电和图像的漂移,也会减轻对试样的损伤。

半导体器件(IC)研究中的特殊应用

在半导体器件(IC)研究中的特殊应用:

 1)利用电子束感生电流EBIC进行成像,可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究

 2)利用样品电流成像,结果可显示电路中金属层的开、短路,电镜测试中心,因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。

 3)利用二次电子电位反差像,反映了样品表面的电位,从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况,特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。

 4、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式),晶体取向分布分析,基于晶体结构的相鉴定。

桌面型扫描电镜的扫描速度快,信号采集带宽10M,可以在视频模式下流畅实时的显示样品。只需鼠标就可完成所有操作,不需对中光阑等复杂步骤,聊城电镜测试,聚焦消像散后可直接拍图。

桌面型扫描电镜的几个使用特点:

 1、体型小巧,无需准备独立实验室;

 2、结构设计简洁,人性化设计,易于维护及保养;

 3、高真空(10-3Pa)及15kV宽加速电压(1kV步进),可满足不同样品的测试需求;

 4、不断优化的软件功能,让不同经验的使用人员都能轻松上手操作。

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