天津9d实验室-双束扫描电镜测试哪家好-惠州双束扫描电镜测试

背散射电子的空间角度分布与入射电子和试样表面的入射角有关。高角度（>30°）的背散射像适宜于显示原子序数衬度;低角度(

在扫描电镜中检测的试样，惠州双束扫描电镜测试，其准备工作十分简便。对导电体试样，可以不做任何预处理，双束扫描电镜测试费用，只要其大小形状适合试样室，即可置入仪器试样室检测。对非导电体试样，双束扫描电镜测试价格，则在置入试样室前，要在真空镀膜机中对其待测表面喷镀一薄层导电物质，常用的是金或碳。

影响扫描电镜的分辨本领的主要因素有：

　A. 入射电子束束斑直径：为扫描电镜分辨本领的极限。一般，热阴极电子的很小束斑直径可缩小到6nm，场发射电子可使束斑直径小于3nm。

　B. 入射电子束在样品中的扩展效应：扩散程度取决于入射束电子能量和样品原子序数的高低。入射束能量越高，样品原子序数越小，则电子束作用体积越大，产生信号的区域随电子束的扩散而变大，从而降低了分辨率。

　C. 成像方式及所用的调制信号：当以二次电子为调制信号时，由于其能量低(小于50 eV)，平均自由程短(10~100 nm左右)，双束扫描电镜测试哪家好，只有在表层50～100 nm的深度范围内的二次电子才能逸出样品表面， 发生散射次数很有限，基本未向侧向扩展，因此，二次电子像分辨率约等于束斑直径。

当扫描电镜的电子束轰击试样表面时，电子束会进入试样内部，产生散射现象，电子束在散射后会改变前进方向，而且还会损失部分能量，随之而来产生各种其他信息，如热、俄歇电子、X射线、可见光、二次电子、背散射电子等。

当入射电子与试样相互作用后，其中有一部分电子会返回表面逸出，则这部分被返回表面逸出的原入射电子被称为背散射电子。在实际成像过程中，通常以能量大小对电子信息进行分类，能量大于50eV而小于入射束能量E0的电子称为背散射电子，大部分背散射电子的能量约为原入射能量E0的0.7～0.9倍。利用背散射电子来成像所获得的图像称为背散射电子像。背散射电子像在电镜成像中的使用率和图像的分辨力也都比较高，仅次于一次电子像。