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二次电子的能量低,FIB电镜制样价格,受局部电场的影响变化大,如图a所示的颗粒在电子束的照射下因充了负电子而发白,FIB电镜制样哪家好,在这发白的颗粒周围感应了正电荷,而感应了正电荷的区域导致二次电子的发射量减小,东营FIB电镜制样,使颗粒周围明显变暗。由于二次电子像分辨力高、阴影效应不明显、景深深、立体感强,所以它是扫描电镜中主要的成像方式。它特别适用于观察和分析起伏较大的粗糙面,如金属、陶瓷和塑料等材料的断口,所以在材料学科中扫描电镜得到了广泛应用。

在实际工作中以上这几个要点很难个个具备都能达到理想状态,但是作为一个的扫描电镜应用人员来说,应从多方面入手,综合考虑,如选好电镜的安装环境,尽自己的职责维护好设备和制备好试样,这都是操作人员应该做到的事。电镜参数的合理选择和熟练操作,是操作人员经过努力学习、不断积累经验而应能实现的目标。至于扫描电镜的型号和某些参数的优劣,这超出操作人员的能力范围,只要操作人员能发挥出现有电镜大的潜能,一般都能得到比较好的成像效果。当然,如果能有一台高亮度、高分辨的扫描电镜,那将会更理想。

二次电子主要是来自于距试样表面1~10nm之间深度的亚表面(试样表面0~1nm之间深度发出的电子主要为俄歇电子),二次电子能量在0~50eV之间,平均能量约30eV,所以这些二次电子能很好地显示出试样表面的微观形貌。由于入射电子仅经过几纳米的路径,还没有被多次反射和明显扩散,因此在入射电子照射的作用区内产生的二次电子区域与入射束的束斑直径差别不大,所以在同一台电镜中二次电子像的分辨能力。二次像的分辨力优于背散射像,背散射像的分辨力优于吸收电流像,吸收电流像的分辨力优于阴极荧光像。目前场发射和钨阴极电镜的二次电子像的分辨力都能分别优于1.0nm和3.0nm。一般情况下,扫描电镜的指标中所提及的图像分辨力,若没有特别说明,都是泛指二次电子像的分辨力。

