企业等级: | 普通会员 |
经营模式: | 生产加工 |
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通常,电磁透镜有聚光镜及物镜两种:聚光镜是电子向样品移动时遇到的个透镜。该透镜在电子束锥再次打开前使电子束会聚,并在撞击扫描样品之前由物镜再次会聚。聚光镜决定了电子束的大小(这决定了分辨率高低),而物镜的主要作用是将电子束聚焦到样品上。它的透镜系统还包含扫描线圈,用来对样品表面进行栅网式扫描。很多时候,会将光阑与透镜相结合来控制电子束的大小。
首先在扫描电镜窗口下找到感兴趣的样品区域,其次在能谱软件窗口对样品区域进行点、线或面扫描,即可获取样品区域的元素种类、分布及含量百分比。
二次电子的能量低,受局部电场的影响变化大,如图a所示的颗粒在电子束的照射下因充了负电子而发白,西双版纳环境场扫描电镜测试,在这发白的颗粒周围感应了正电荷,而感应了正电荷的区域导致二次电子的发射量减小,使颗粒周围明显变暗。由于二次电子像分辨力高、阴影效应不明显、景深深、立体感强,所以它是扫描电镜中主要的成像方式。它特别适用于观察和分析起伏较大的粗糙面,如金属、陶瓷和塑料等材料的断口,所以在材料学科中扫描电镜得到了广泛应用。
台式扫描电镜的真空要求和小容量的抽真空使台式扫描电镜抽真空时间短,也比传统落地扫描电镜呈像速度快。台式扫描电镜可直接操作,节省了实验操作人员执行分析,准备报告并传达结果所需的时间。除了台式扫描电镜系统响应快之外,环境场扫描电镜测试中心,分析即时性和用户实时根据观察结果来指导研究工作是具有要当大的潜在价值的。在一些应用中,比如钙钛矿的观察,因为钙钛矿在空气中非常容易氧化,因此如果抽真空的时间过长,样品的表面形貌和成分会发生改变,台式扫描电镜能有效地减小钙钛矿的氧化。