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二次电子是相对于入射电子的一种提法。它是指被高能入射(也称为一次或初次)电子束轰击出来的试样中的核外电子。由于原子核和外层价电子间的结合能很小,当原子的核外电子从入射电子那里获得大于相应的结合能后,电镜分析哪家好,就可脱离原子核的约束而成为自由电子。如果这种脱离过程发生在试样表面和亚表面层,那么这些能量大于材料逸出功的电子就可以从试样表面逸出,就成为二次电子。
在半导体器件(IC)研究中的特殊应用:
1)利用电子束感生电流EBIC进行成像,可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究
2)利用样品电流成像,结果可显示电路中金属层的开、短路,因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。
3)利用二次电子电位反差像,反映了样品表面的电位,从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况,特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。
4、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式),晶体取向分布分析,基于晶体结构的相鉴定。
扫描电镜分辨率与电子在试样上的小扫描范围有关,电镜分析机构,电子束斑越小,电子在试样上的分辨率越高。在保证束斑足够小的情况下,惠州电镜分析,电子束还要有足够的强度。束流太低不能从试样表面激发足够的信号,噪声影响大。二次电子对形貌敏感。凸起部位亮,电镜分析价格,凹陷部位暗,景深好,细节清晰。 背散射电子对原子序数敏感,原子序数高的区域能得到更多的背散射电子,相应图像较亮,可以用来观察材料成分的分部。 原子被激发会发出,每种元素受激发射发出的会不同,通过对不同X进行检测,就可知道材料中包括什么元素和比例。