韶关环境场扫描电镜测试-9d实验室电镜分析

在半导体器件(IC)研究中的特殊应用：

　1)利用电子束感生电流EBIC进行成像，可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究

　2)利用样品电流成像，韶关环境场扫描电镜测试，结果可显示电路中金属层的开、短路，因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。

　3)利用二次电子电位反差像，反映了样品表面的电位，从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况，特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。

　4、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式)，晶体取向分布分析，基于晶体结构的相鉴定。

桌面型扫描电镜的扫描速度快，环境场扫描电镜测试机构，信号采集带宽10M，可以在视频模式下流畅实时的显示样品。只需鼠标就可完成所有操作，不需对中光阑等复杂步骤，聚焦消像散后可直接拍图。

桌面型扫描电镜的几个使用特点：

　1、体型小巧，无需准备独立实验室；

　2、结构设计简洁，人性化设计，易于维护及保养；

　3、高真空(10-3Pa)及15kV宽加速电压(1kV步进)，可满足不同样品的测试需求；

　4、不断优化的软件功能，环境场扫描电镜测试哪家好，让不同经验的使用人员都能轻松上手操作。

扫描电子显微镜的功能

　1、扫描电子显微镜追求固体物质高分辨的形貌，形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态，形状，尺寸)

　2、显示化学成分的空间变化，基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布，微区化学成分分析

　1)用x射线能谱仪或波谱(EDS or WDS)采集特征X射线信号，生成与样品形貌相对应的，元素面分布图或者进行化学成分定性定量分析，相鉴定。

　2)利用背散射电子(BSE)基于平均原子序数(一般和相对密度相关)反差，生成化学成分相的分布图像；

　3)利用阴极荧光，基于某些痕量元素(如过渡金属元素，稀土元素等)受电子束激发的光强反差，生成的痕量元素分布图像。