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背散射电子的空间角度分布与入射电子和试样表面的入射角有关。高角度（>30°）的背散射像适宜于显示原子序数衬度;低角度(

在扫描电镜中检测的试样，其准备工作十分简便。对导电体试样，可以不做任何预处理，只要其大小形状适合试样室，即可置入仪器试样室检测。对非导电体试样，则在置入试样室前，要在真空镀膜机中对其待测表面喷镀一薄层导电物质，扫描电镜测试费用，常用的是金或碳。

背散射电子像具有下列基本性质和特点：

（1）其成像信息主要来自于返回试样表面的原一次电子，大部分电子的能量基本接近于原入射电子的能量。

（2）由于入射电子在试样中产生背散射电子的区域比二次电子的区域深、范围大，故背散射电子像的几何分辨力远不如二次电子像，对于中等或以上元素的分辨力与二次像相比约差2.5倍以上。

（3）由于背散射电子的能量较大，故其出射方向基本不受试样表面弱电场的影响，而且类似于点光源的形式以直线方式沿其径向轨迹散射开来。因此，只有出射方向正对着探测器的背散射电子才可以进入探测器中。当背散射探测器的有效面积所覆盖的立体角越大时，其接收效率越高，扫描电镜测试机构，信噪比也越好，图像分辨力越能得到改善。

扫描电镜分辨率与电子在试样上的小扫描范围有关，电子束斑越小，扫描电镜测试哪家好，电子在试样上的分辨率越高。在保证束斑足够小的情况下，电子束还要有足够的强度。束流太低不能从试样表面激发足够的信号，噪声影响大。二次电子对形貌敏感。凸起部位亮，凹陷部位暗，景深好，细节清晰。　　背散射电子对原子序数敏感，原子序数高的区域能得到更多的背散射电子，相应图像较亮，深圳扫描电镜测试，可以用来观察材料成分的分部。　　原子被激发会发出，每种元素受激发射发出的会不同，通过对不同X进行检测，就可知道材料中包括什么元素和比例。