投射电镜分析中心-石家庄投射电镜分析-9d实验室电镜测试

在目前微观形貌的分析研究中，投射电镜分析中心，随着半导体器件等高新技术的发展，往往要求对表面的细微结构能够更深入地观察和了解，因此发展高分辨力的电镜一直是生产厂商和用户们所追求的共同目标。要获得一张清晰、高分辨的照片，不仅要有一台性能***的高分辨力扫描电子显微镜，而且还取决于试样自身的特征和操作人员的工作经验，即要考虑以下几种因素：

（1）入射电子束的束流密度要足够大，而且稳定→电子源的发射问题。

（2）入射电子束的束斑是否足够细、足够旋转对称（圆），投射电镜分析机构，涉及电子透镜的设计、加工和装配水平，以及镜筒受污染的影响程度等→探针的形成问题。

影响扫描电镜的分辨本领的主要因素有：

　A. 入射电子束束斑直径：为扫描电镜分辨本领的极限。一般，热阴极电子的很小束斑直径可缩小到6nm，场发射电子可使束斑直径小于3nm。

　B. 入射电子束在样品中的扩展效应：扩散程度取决于入射束电子能量和样品原子序数的高低。入射束能量越高，样品原子序数越小，则电子束作用体积越大，产生信号的区域随电子束的扩散而变大，从而降低了分辨率。

　C. 成像方式及所用的调制信号：当以二次电子为调制信号时，由于其能量低(小于50 eV)，平均自由程短(10~100 nm左右)，石家庄投射电镜分析，只有在表层50～100 nm的深度范围内的二次电子才能逸出样品表面，投射电镜分析费用， 发生散射次数很有限，基本未向侧向扩展，因此，二次电子像分辨率约等于束斑直径。

加速电压越高入射电子束的波长越短，也就越容易得到高分辨力的图像，还有抗外部电磁场的干扰能力也会增强，也不易受到试样表层污染斑的影响，所以高的加速电压比较适合拍摄高倍率的图像。

选择高加速电压的缺点，所获得的图像会缺少表面信息和细节，易呈现高反差，特别是会明显变大边缘效应，使得到的图像欠柔和，也会使图像容易呈现生硬的感觉。另外，高的加速电压、大的束斑也容易造成试样的放电和损伤，以及图形的漂移。