扫描电镜分析机构-曲靖扫描电镜分析-9d实验室电镜测试

在半导体器件(IC)研究中的特殊应用：

　1)利用电子束感生电流EBIC进行成像，扫描电镜分析哪家好，可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究

　2)利用样品电流成像，结果可显示电路中金属层的开、短路，因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。

　3)利用二次电子电位反差像，反映了样品表面的电位，从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况，特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。

　4、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式)，晶体取向分布分析，基于晶体结构的相鉴定。

背散射电子的空间角度分布与入射电子和试样表面的入射角有关。高角度（>30°）的背散射像适宜于显示原子序数衬度;低角度(

在扫描电镜中检测的试样，其准备工作十分简便。对导电体试样，可以不做任何预处理，只要其大小形状适合试样室，曲靖扫描电镜分析，即可置入仪器试样室检测。对非导电体试样，则在置入试样室前，要在真空镀膜机中对其待测表面喷镀一薄层导电物质，常用的是金或碳。

扫描电镜能谱一体机标配光学导航功能，点击感兴趣的区域，在数秒内既可以得到样品微观形貌信息，点击切换至能谱软件界面可快速得到该区域的表面元素分布信息。扫描电镜能谱软件可以使用户实现多点分析，灵活检测样品的元素组分。同时，该软件还支持元素分析线扫、面扫功能。优化精简的操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。

扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗 粒，成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是主要的成像信号。