天津不导电样品电镜分析-天津市9d实验室

建立大型分析测试时，天津不导电样品电镜分析，扫描电镜可以起到承上启下的作用，早期能满足大部分的测试需要，后期可以从外部使用者对于更高的性能需求和成本进行基于经验的评估，有针对性地完善整个扫描电镜测试系统。

有多少人将使用该系统?用户是否受过培训?如果不是，他们愿意投入多少时间进行培训?台式扫描电镜的操作非常简单，样品制备流程非常简单，获取图像可以像点击几个按钮一样简单。具有特定需求的用户，只要投入一点时间进行培训，就可以访问更高的的程序。总的来说，台式扫描电镜对操作员培训的要求要低得多，而且系统本身更加稳定。而且设备耐使，不容易坏，潜在的维修成本也很低。

国产台式扫描电镜采用钨灯丝电子，加速电压在1-15kV范围内连续可调，搭配二次电子探测器、背散射电子探测器、集成式oxford能谱仪，同时满足形貌观测及元素分析需求。当有电流流经灯丝时，阴极被直接加热，钨灯丝中的电子受热激发，在加速电场的作用下，电子定向发射。在正常的工作温度下，电子从大约100um×150um的面积发射离开“V”形阴极。当阴极的发射温度增加时，其发射电流以指数的方式快速增长，使得束斑亮度大增。

在目前微观形貌的分析研究中，随着半导体器件等高新技术的发展，往往要求对表面的细微结构能够更深入地观察和了解，因此发展高分辨力的电镜一直是生产厂商和用户们所追求的共同目标。要获得一张清晰、高分辨的照片，不仅要有一台性能***的高分辨力扫描电子显微镜，而且还取决于试样自身的特征和操作人员的工作经验，即要考虑以下几种因素：

（1）入射电子束的束流密度要足够大，而且稳定→电子源的发射问题。

（2）入射电子束的束斑是否足够细、足够旋转对称（圆），涉及电子透镜的设计、加工和装配水平，以及镜筒受污染的影响程度等→探针的形成问题。