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背散射电子的空间角度分布与入射电子和试样表面的入射角有关。高角度（>30°）的背散射像适宜于显示原子序数衬度;低角度(

在扫描电镜中检测的试样，其准备工作十分简便。对导电体试样，天津三维重构，可以不做任何预处理，只要其大小形状适合试样室，泰安三维重构，即可置入仪器试样室检测。对非导电体试样，则在置入试样室前，要在真空镀膜机中对其待测表面喷镀一薄层导电物质，常用的是金或碳。

二次电子的能量低，受局部电场的影响变化大，如图a所示的颗粒在电子束的照射下因充了负电子而发白，在这发白的颗粒周围感应了正电荷，而感应了正电荷的区域导致二次电子的发射量减小，使颗粒周围明显变暗。由于二次电子像分辨力高、阴影效应不明显、景深深、立体感强，三维重构中心，所以它是扫描电镜中主要的成像方式。它特别适用于观察和分析起伏较大的粗糙面，如金属、陶瓷和塑料等材料的断口，所以在材料学科中扫描电镜得到了广泛应用。

加速电压越高入射电子束的波长越短，也就越容易得到高分辨力的图像，三维重构费用，还有抗外部电磁场的干扰能力也会增强，也不易受到试样表层污染斑的影响，所以高的加速电压比较适合拍摄高倍率的图像。

选择高加速电压的缺点，所获得的图像会缺少表面信息和细节，易呈现高反差，特别是会明显变大边缘效应，使得到的图像欠柔和，也会使图像容易呈现生硬的感觉。另外，高的加速电压、大的束斑也容易造成试样的放电和损伤，以及图形的漂移。