企业等级: | 普通会员 |
经营模式: | 生产加工 |
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在半导体器件(IC)研究中的特殊应用:
1)利用电子束感生电流EBIC进行成像,可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究
2)利用样品电流成像,结果可显示电路中金属层的开、短路,因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。
3)利用二次电子电位反差像,反映了样品表面的电位,从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况,原位气相费用,特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。
4、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式),晶体取向分布分析,基于晶体结构的相鉴定。
在实际工作中要采集到一幅好照片,除了要有好的台式扫描电镜设备之外,选择合适的加速电压值也是很重要的一步。选择高、低不同的加速电压各有不同的优缺点,通常应根据试样的组分和分析目的的不同来考虑,即金属试样一般会选择较高的加速电压,韶关原位气相,轻元素组成的试样一般会选择较低的加速电压。
台式扫描电镜图像的成像信息来源越趋于表面,图像的表面细节就越显得丰富、细腻,特别是会明显减少边缘效应,使得到的图像显得更协调、柔和。另外,低加速电压、小束斑对试样表面的损伤小,不容易造成试样的荷电和图像的漂移,也会减轻对试样的损伤。
背散射电子的空间角度分布与入射电子和试样表面的入射角有关。高角度(>30°)的背散射像适宜于显示原子序数衬度;低角度(
在扫描电镜中检测的试样,其准备工作十分简便。对导电体试样,可以不做任何预处理,只要其大小形状适合试样室,即可置入仪器试样室检测。对非导电体试样,则在置入试样室前,要在真空镀膜机中对其待测表面喷镀一薄层导电物质,常用的是金或碳。