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高分辨率台式扫描电镜是一种大型精密仪器

高分辨率台式扫描电镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统，是一种大型精密仪器，肇庆扫描电镜测试，它是机械学、光学、电子学、热学、材料学、真空技术等多门学科的综合应用。

　真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器，真空泵用来在真空柱内产生真空，扫描电镜测试哪家好，有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足真空要求，需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中，真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。

　之所以要用真空，主要基于以下两点原因：电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成像的电子更多。热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射电子的SEM上，电磁透镜*。

扫描电镜的优点：

　①有较高的放大倍数，2-20万倍之间连续可调；

　②有很大的景深，视野大，扫描电镜测试中心，成像富有立体感，扫描电镜测试费用，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；

　③试样制备简单。目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析，因此它是当今十分有用的科学研究仪器。

　扫描电子显微镜观测电畴是通过对样品表面预***行化学腐蚀来实现的，由于不同极性的畴被腐蚀的程度不一样，利用腐蚀剂可在铁电体表面形成凹凸不平的区域从而可在显微镜中进行观察。因此，可以将样品表面预***行化学腐蚀后，利用扫描电子显微镜图像中的黑白衬度来判断不同取向的电畴结构。对不同的铁电晶体选择合适的腐蚀剂种类、浓度、腐蚀时间和温度都能显示良好的畴图样。

扫描电子显微镜的原理

扫描电子显微镜(SEM)是介于透射电镜还有光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，能够直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。主要使用于各种材料的微观分析还有成分分析，已经成为材料科学、生命科学以及各生产部门品质控制中不可或缺的工具之一。

　扫描电子显微镜的结构包含电子光学系统、图像显示与记录系统、真空系统还有X射线能谱分析系统。