企业等级: | 普通会员 |
经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 天津 天津市 |
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加速电压越低,电子束的波长越长,越不容易得到高分辨力的图像,所以低加速电压仅适合于拍摄放大倍率不太高的图像,投射电镜分析机构,还有信噪也比较差,抗外部电磁场的干扰能力也较弱,对试样表层所受的污染会变得更敏感,所以不易得到高清晰和高分辨力的图像。
加速电压越高入射电子束的波长越短,投射电镜分析费用,也就越容易得到高分辨力的图像,还有抗外部电磁场的干扰能力也会增强,也不易受到试样表层污染斑的影响,所以高的加速电压比较适合拍摄高倍率的图像。
扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。
原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理,保定投射电镜分析,采用不同的信息检测器,使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集,可得到有关物质微观形貌的信息;对X射线的采集,可得到物质化学成分的信息。
台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统及电源系统组成。
电子光学系统:电子光学系统由电子、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束,作为使样品产生各种物理信号的激发源。
电子:其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。
电磁透镜:其作用是把电子的束斑逐渐聚焦缩小,使原来直径约50um的束斑缩小成一个只有数nm的细小束斑。
扫描线圈:其作用使电子束进入末级透镜强磁场区前就发生偏转。