企业等级: | 普通会员 |
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扫描电镜带能谱结合了表面成像功能和元素分析EDS功能,EDS(能谱仪)可以准确的进行样品表面元素的定性和定量分析。台式电镜能谱仪体积小巧,投射电镜分析费用,完全嵌入在电镜主机中,采用半导体制冷,无需额外冷却系统。与光学显微镜类似,扫描电镜也通过透镜来控制电子路径。但因为电子无法穿过玻璃,所以扫描电镜要使用电磁透镜。它们由线圈和金属极片构成。当电流通过线圈,就会产生磁场。由于电子对磁场非常敏感,因此只需调节所施加的电流大小就可以控制镜筒内的电子路径。
背散射电子的空间角度分布与入射电子和试样表面的入射角有关。高角度(>30°)的背散射像适宜于显示原子序数衬度;低角度(
在扫描电镜中检测的试样,其准备工作十分简便。对导电体试样,可以不做任何预处理,投射电镜分析机构,只要其大小形状适合试样室,即可置入仪器试样室检测。对非导电体试样,则在置入试样室前,要在真空镀膜机中对其待测表面喷镀一薄层导电物质,迪庆投射电镜分析,常用的是金或碳。
通常,投射电镜分析中心,电磁透镜有聚光镜及物镜两种:聚光镜是电子向样品移动时遇到的个透镜。该透镜在电子束锥再次打开前使电子束会聚,并在撞击扫描样品之前由物镜再次会聚。聚光镜决定了电子束的大小(这决定了分辨率高低),而物镜的主要作用是将电子束聚焦到样品上。它的透镜系统还包含扫描线圈,用来对样品表面进行栅网式扫描。很多时候,会将光阑与透镜相结合来控制电子束的大小。
首先在扫描电镜窗口下找到感兴趣的样品区域,其次在能谱软件窗口对样品区域进行点、线或面扫描,即可获取样品区域的元素种类、分布及含量百分比。