企业等级: | 普通会员 |
经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 天津 天津市 |
联系卖家: | 朱老师 先生 |
手机号码: | 18812668369 |
公司官网: | jdtjxcl.tz1288.com |
公司地址: | 天津市东丽区华明镇科创慧谷园区5号楼三层301D室 |
扫描电镜分辨率与电子在试样上的小扫描范围有关,电子束斑越小,电子在试样上的分辨率越高。在保证束斑足够小的情况下,电子束还要有足够的强度。束流太低不能从试样表面激发足够的信号,噪声影响大。二次电子对形貌敏感。凸起部位亮,凹陷部位暗,景深好,天津不导电样品电镜分析,细节清晰。 背散射电子对原子序数敏感,原子序数高的区域能得到更多的背散射电子,相应图像较亮,可以用来观察材料成分的分部。 原子被激发会发出,每种元素受激发射发出的会不同,通过对不同X进行检测,就可知道材料中包括什么元素和比例。
影响扫描电镜的分辨本领的主要因素有:
A. 入射电子束束斑直径:为扫描电镜分辨本领的极限。一般,热阴极电子的很小束斑直径可缩小到6nm,场发射电子可使束斑直径小于3nm。
B. 入射电子束在样品中的扩展效应:扩散程度取决于入射束电子能量和样品原子序数的高低。入射束能量越高,样品原子序数越小,则电子束作用体积越大,产生信号的区域随电子束的扩散而变大,从而降低了分辨率。
C. 成像方式及所用的调制信号:当以二次电子为调制信号时,由于其能量低(小于50 eV),平均自由程短(10~100 nm左右),只有在表层50~100 nm的深度范围内的二次电子才能逸出样品表面, 发生散射次数很有限,基本未向侧向扩展,因此,二次电子像分辨率约等于束斑直径。
当扫描电镜的电子束轰击试样表面时,电子束会进入试样内部,产生散射现象,电子束在散射后会改变前进方向,而且还会损失部分能量,随之而来产生各种其他信息,如热、俄歇电子、X射线、可见光、二次电子、背散射电子等。
当入射电子与试样相互作用后,其中有一部分电子会返回表面逸出,则这部分被返回表面逸出的原入射电子被称为背散射电子。在实际成像过程中,通常以能量大小对电子信息进行分类,能量大于50eV而小于入射束能量E0的电子称为背散射电子,大部分背散射电子的能量约为原入射能量E0的0.7~0.9倍。利用背散射电子来成像所获得的图像称为背散射电子像。背散射电子像在电镜成像中的使用率和图像的分辨力也都比较高,仅次于一次电子像。