企业等级: | 普通会员 |
经营模式: | 生产加工 |
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全自动扫描电子显微镜是生产工艺中的关键设备
全自动扫描电子显微镜是一款全自动、无损显微分析系统,可针对几乎所有无机材料和部分有机材料,迅速提供在统计学上可靠且可重复的矿物学、岩相学和冶金学数据,在业,全自动扫描电子显微镜可用于矿产勘查、矿石表征和选矿工艺优化。在石油和行业,对钻井岩屑和岩心试样进行显微分析,从而降低风险并提高采收率。在煤炭行业,利用该系统自动分析煤、煤粉和煤燃烧产物,可以更好地了解煤燃烧和废物利用情况。
由于高能电子与物质的相互作用,结果在试样上产生各种信息如二次电子、背反射电子、俄歇电子、X射线、阴发光、吸收电子和透射电子等。因为从试样中所得到各种信息的强度和分布各自同试样表面形貌、成分、晶体取向、以及表面状态的一些物理性质(如电性质、磁性质等)等因素有关,因此,通过接收和处理这些信息,就可以获得表征试样形貌的扫描电子像,或进行晶体学分析或成分分析。
在全自动扫描电子显微镜应用中,很多集中在半导体器件和集成电路方面,它可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况,这是因为这种变化会带来象的反差的变化,焊接开裂和腐蚀表面的细节或相互关系可以很容易地观察到。
扫描电子显微镜的应用
扫描电子显微镜广泛用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。
显微镜在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域,进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体/晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。
其工作原理为:在高真空的镜筒中,由电子产生的电子束经电子会聚透镜聚焦成细束后,在样品表面逐点进行扫描轰击,产生一系列电子信息(二次电子、背反射电子、透射电子、吸收电子等),天津聚光镜透射电镜测试,由探测器将各种电子信号接收后经电子放大器放大后输入由显像管栅极控制的显像管。
扫描电子显微镜的工作原理
从电子阴极发出的直径20μm~30μm的电子束,受到阴阳极之间加速电压的作用,射向镜筒,经过聚光镜以及物镜的会聚作用,缩小成直径约几毫微米的电子探针。在物镜上部的扫描线圈的作用下,电子探针在样品表面作光栅状扫描而且激发出多种电子信号。这些电子信号被相应的检测器检测,通过放大、转换,变成电压信号,之后被送到显像管的栅极上并且调制显像管的亮度。显像管中的电子束在荧光屏上也作光栅状扫描,并且这种扫描运动与样品表面的电子束的扫描运动严格同步,这样即获得衬度与所接收信号强度相对应的扫描电子像,这种图象反映了样品表面的形貌特征。第二节扫描电镜生物样品制备技术大多数生物样品都含有水分,而且比较柔软,所以,当我们在进行扫描电镜观察之前,一定要对样品作相应的处理。扫描电镜样品制备的主要步骤:尽可能让样品的表面结构储存好,没有变形还有污染,样品干燥并且有优良导电性能。