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扫描电镜之电子探针显微分析

显微结构分析

电子探针是利用0.5μm－1μm的高能电子束激发所分析的试样，通过电子与试样的相互作用产生的特征X 射线、二次电子、吸收电子、 背散射电子及阴极荧光等信息来分析试样的微区内(μm范围内)成份、形貌和化学结合状态等特征。电子探针成分分析的空间分辨率（微区成分分析所能分析的区域）是几个立方μm范围， 微区分析是它的一个重要特点之一， 它能将微区化学成份与显微结构对应起来，是一种显微结构的分析。而一般化学分析、 荧光分析及光谱分析等，是分析试样较大范围内的平均化学组成，也无法与显微结构相对应， 不能对材料显微结构与材料性能关系进行研究。

扫描电镜的结构

扫描电镜是针对台式电镜设计的，本着台式电镜简单易用，利用半导体制冷，电镜测试机构，无需额外冷却系统，是一款具有处理所有类型材料能力的分析仪器，可以提供成像质量，配备X射线能谱仪接口，并有X射线几何设计，惠州电镜测试，可对所有样品进行分析，对于非导体采用电子束衬管技术也提高了图像质量和分析精度。

　扫描电镜***的X射线几何结构以及标配能谱仪和波谱仪，可变电压功能用于分析较少制备的非接触式样品，可移动的显微镜样品台用于观察大型样品，是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜的结构包括电子光学系统、图像显示和记录系统、真空系统、X射线能谱分析系统。

全自动扫描电子显微镜是生产工艺中的关键设备

全自动扫描电子显微镜是一款全自动、无损显微分析系统，可针对几乎所有无机材料和部分有机材料，迅速提供在统计学上可靠且可重复的矿物学、岩相学和冶金学数据，在业，全自动扫描电子显微镜可用于矿产勘查、矿石表征和选矿工艺优化。在石油和行业，对钻井岩屑和岩心试样进行显微分析，从而降低风险并提高采收率。在煤炭行业，电镜测试价格，利用该系统自动分析煤、煤粉和煤燃烧产物，可以更好地了解煤燃烧和废物利用情况。

由于高能电子与物质的相互作用，结果在试样上产生各种信息如二次电子、背反射电子、俄歇电子、X射线、阴发光、吸收电子和透射电子等。因为从试样中所得到各种信息的强度和分布各自同试样表面形貌、成分、晶体取向、以及表面状态的一些物理性质（如电性质、磁性质等）等因素有关，电镜测试费用，因此，通过接收和处理这些信息，就可以获得表征试样形貌的扫描电子像，或进行晶体学分析或成分分析。

在全自动扫描电子显微镜应用中，很多集中在半导体器件和集成电路方面，它可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况，这是因为这种变化会带来象的反差的变化，焊接开裂和腐蚀表面的细节或相互关系可以很容易地观察到。