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扫描电镜带能谱是一种体积小巧，可安放在实验台面上操作的台式电子显微镜。它的电子光学系统、探测器、电路控制系统、信号采集系统和操作软件均为自主研制。独立研发的电子光学系统设计，使拍摄图片具有更高的信噪比和对比度。配合很高的信号采集带宽，可以在视频帧率下高质量的流畅显示样品。只需鼠标就可完成所有操作，无需光阑对中等复杂步骤。主机集成高压及控制系统，是目前市面上体积较小的台式扫描电镜，便于移动，电镜分析机构，安装无需特殊环境。

通常，潍坊电镜分析，电磁透镜有聚光镜及物镜两种：聚光镜是电子向样品移动时遇到的个透镜。该透镜在电子束锥再次打开前使电子束会聚，并在撞击扫描样品之前由物镜再次会聚。聚光镜决定了电子束的大小(这决定了分辨率高低)，而物镜的主要作用是将电子束聚焦到样品上。它的透镜系统还包含扫描线圈，用来对样品表面进行栅网式扫描。很多时候，会将光阑与透镜相结合来控制电子束的大小。

首先在扫描电镜窗口下找到感兴趣的样品区域，其次在能谱软件窗口对样品区域进行点、线或面扫描，电镜分析费用，即可获取样品区域的元素种类、分布及含量百分比。

在半导体器件(IC)研究中的特殊应用：

　1)利用电子束感生电流EBIC进行成像，可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究

　2)利用样品电流成像，结果可显示电路中金属层的开、短路，因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。

　3)利用二次电子电位反差像，反映了样品表面的电位，电镜分析哪家好，从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况，特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。

　4、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式)，晶体取向分布分析，基于晶体结构的相鉴定。