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中山球差电镜测试-天津市9d实验室-球差电镜测试机构

询盘留言|投诉|申领|删除 产品编号:510018154                    更新时间:2022-07-12
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加速电压越低,电子束的波长越长,越不容易得到高分辨力的图像

加速电压越低,电子束的波长越长,越不容易得到高分辨力的图像,所以低加速电压仅适合于拍摄放大倍率不太高的图像,还有信噪也比较差,球差电镜测试价格,抗外部电磁场的干扰能力也较弱,对试样表层所受的污染会变得更敏感,所以不易得到高清晰和高分辨力的图像。

加速电压越高入射电子束的波长越短,也就越容易得到高分辨力的图像,天津球差电镜测试,还有抗外部电磁场的干扰能力也会增强,也不易受到试样表层污染斑的影响,所以高的加速电压比较适合拍摄高倍率的图像。

扫描电子显微镜的景深取决于临界分辨本领d0和电子束入射半角α

景深是指焦点前后的一个距离范围,该范围内所有物点所成的图像符合分辨率要求,可以成清晰的图像;也即,景深是可以被看清的距离范围。

 扫描电子显微镜的景深比透射电子显微镜大10倍,比光学显微镜大几百倍。由于图像景深大,中山球差电镜测试,所得扫描电子像富有立体感。电子束的景深取决于临界分辨本领d0和电子束入射半角αc。其中,临界分辨本领与放大倍数有关,因人眼的分辨本领约为0.2 mm, 放大后,要使人感觉物像清晰,要使电子束的分辨率高于临界分辨率d0 :电子束的入射角可通过改变光阑尺寸和工作距离来调整,用小尺寸的光阑和大的工作距离可获得小的入射电子角。

在半导体器件(IC)研究中的特殊应用:

 1)利用电子束感生电流EBIC进行成像,可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究

 2)利用样品电流成像,结果可显示电路中金属层的开、短路,因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。

 3)利用二次电子电位反差像,球差电镜测试机构,反映了样品表面的电位,从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况,特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。

 4、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式),晶体取向分布分析,基于晶体结构的相鉴定。

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