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扫描电镜之电子探针显微分析

显微结构分析

电子探针是利用0.5μm－1μm的高能电子束激发所分析的试样，通过电子与试样的相互作用产生的特征X 射线、二次电子、吸收电子、 背散射电子及阴极荧光等信息来分析试样的微区内(μm范围内)成份、形貌和化学结合状态等特征。电子探针成分分析的空间分辨率（微区成分分析所能分析的区域）是几个立方μm范围， 微区分析是它的一个重要特点之一， 它能将微区化学成份与显微结构对应起来，是一种显微结构的分析。而一般化学分析、 荧光分析及光谱分析等，是分析试样较大范围内的平均化学组成，也无法与显微结构相对应， 不能对材料显微结构与材料性能关系进行研究。

全自动扫描电镜对样品的要求

1、样品要尽可能干燥，含有水分或其他易挥发物的试样应先烘干除去；若样品中含有水份，水分挥发会造成仓内真空度急剧下降，导致图像漂移，有白色条纹，甚至会影响灯丝寿命；

　2、热稳定性好，热稳定性差的样品往往在电子束的轰击下分解，释放气体和其他物质，污染电镜；

　3、导电性好，导电性差的样品会发生荷电效应，造成图像畸变，亮点亮线，像散等；

　4、不含强磁性，强磁性的样品观察一般会出现严重的像散，无法消去，磁性粉末如果粘的不牢固还可能会吸附到探头上，损害电镜；

　5、试样(表面)导电的固体，试样可以是块状或粉未状。不导电的试样，要***行镀膜处理，在材料表面形成一层导电膜；

扫描电镜的功能 桌面扫描电镜除了全自动功能以外，还提供给更加的用户所有手动调节功能，几乎具备大型机所有的调节功能，从而获得更加的图像品质。桌面扫描电镜在充分了解用户的使用需求基础上，集成了当前市场上所有小型台式机的***性，克服用户感到烦恼的缺点，使得扫描电镜是人机操作工程的产品。 桌面扫描电镜具备样品表面微观形貌观测和表面元素成分点、线、面分析，将电镜和能谱在生产环节集成在一台设备中，后期通过一个软件平台控制操作，用户只需要熟悉一个软件就能同时操控两项功能，也变得相对简单快速。桌面扫描电镜是扫描电镜能谱行业的一个里程碑，电镜能谱一体机提供*zui高的台式扫描电镜分辨率，同时也使得表面元素分析更加准确快速。 桌面扫描电镜具有系列全自动操作、15秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、2-3年更换灯丝等特点，无需防震环境，天津金属样品电镜分析，可放置在任意楼层，能谱无外接部件，无需液氮冷却。