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扫描电子显微镜对样品的要求：

　首先一点，不会被电子束分解；

　其次第二点，在电子束扫描下热稳定性要好；

　第三点，可以提供导电还有导热通道；

　第四点，大小和厚度要适合使用于样品台的安装

　第五点，观察面应该清洁并且无污染物；

　第六点，进行微区成分分析的表面应该平整；

　第七点，磁性试样要预先去磁，是为了避免观察的时候电子束受到磁场的影响。

扫描电镜之电子探针显微分析

显微结构分析

电子探针是利用0.5μm－1μm的高能电子束激发所分析的试样，通过电子与试样的相互作用产生的特征X 射线、二次电子、吸收电子、 背散射电子及阴极荧光等信息来分析试样的微区内(μm范围内)成份、形貌和化学结合状态等特征。电子探针成分分析的空间分辨率（微区成分分析所能分析的区域）是几个立方μm范围， 微区分析是它的一个重要特点之一，三维重构中心， 它能将微区化学成份与显微结构对应起来，是一种显微结构的分析。而一般化学分析、 荧光分析及光谱分析等，是分析试样较大范围内的平均化学组成，也无法与显微结构相对应， 不能对材料显微结构与材料性能关系进行研究。

扫描电子显微镜的相关应用

一点，扫描电子显微镜可以观察纳米材料：它具备很高的分辨率，三维重构机构，能够观察组成材料的颗粒或者微晶尺寸在零点一至一百纳米范围里，在保持表面洁净的条件下加压成型而得到的固体材料。

其次第二点，材料断口的分析：扫描电子显微镜景深大，图象富立体感，并且具备有三维形态，可以从断口形貌呈现材料断裂的本质，河源三维重构，在材料断裂原因的分析，事故原因的分析还有工艺合理性的判定等方面是一个强有力的手段。

第三点，直接观察大试样的原始表面：扫描电子显微镜可以直接观察直径一百毫米，高五十毫米，或更大尺寸的试样，对试样的形状无任何的限制，三维重构价格，粗糙表面也可以进行观察，这样就免除了制备样品的麻烦，并且可以真实观察试样本身物质成分不同的衬度（背散射电子象）。

第四点，观察厚试样：它在观察厚试样的时候，可以得到高的分辨率会还有真实的形貌。

第五点，能够观察试样的各个区域的细节：试样在样品室中可动的范围十分大，能够在三度空间内有六个自由度运动（也就是三度空间平移、三度空间旋转），这对观察不规则形状试样的各个区域带来很大的便利。